ds300是什么意思

测量仪器。ds300是一种工业用多功能测量仪器，主机包括一个图形液晶显示器、两个继电器输出、面板式/挂墙安装外壳上的U接口，是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器。

质量流量控制器，英文Mass Flow Controller（简称MFC），用来快速、精确、稳定控制过程气体的流量大小，是高端自动化设备中的气路控制核心部件。质量流量控制器主要应用于控制低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。

2质量流量控制器可控制哪些参数：

易度质量流量控制器可根据客户工艺要求，控制气体流量大小，该流量是标况下的体积流量，同时也可获得气体的实时温度、压力、工况流量、瞬时流量等关键参数。

3质量流量控制器的单位：

一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为101.325KPa和25℃。

4质量流量控制器的构成：

层流质量流量控制器主要由层流元件、压力传感器、压差传感器、温度传感器、精密比例调节阀、电路设计和软件算法七部分组成。

5质量流量控制器的工作原理：

层流质量流量控制器，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，并根据作为电信号发送的设定流量通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量，从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。

6质量流量控制器的通讯：

质量流量控制器可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V 、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行流量设定、介质切换、标况定义更改、参数显示等 *** 作。

陕西易度智能科技有限公司专注于研发高端制造业过程工艺中的流体微流量控制核心器件，形成以层流元件、精密比例调节阀、压差传感器和软件算法为核心的高精度层流质量流量计和控制器等产品，为半导体、生物制药、新材料、新能源、环保等高端制造业提供高精度微流量测控核心部件和解决方案。

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