芯片是如何制造出来的

芯片是如何制造出来的,第1张

芯片是什么?

芯片,也叫微芯片,由一小块平坦晶圆上的电子电路构成。晶体管是芯片上的微型开关,可以控制电流的打开和关闭。在晶圆上通过添加和去除材料形成多层互连的格栅结构,从而构成无数的微型电流开关。

晶圆由硅制成,与那些可直接传导电流的金属不同,硅是一种半导体,通常需要在其中掺杂一些元素(如硼B,磷P)才能实现电流的传导,这也为控制电流的开关提供了一种途径。硅是地壳中含量第二丰富的元素,仅次于氧元素,在自然界中通常以二氧化硅的形式存在,也就是我们常见的砂子。晶圆便是由主要物质成分为二氧化硅的硅砂制成,首先将硅砂熔融成大晶柱,叫做硅晶柱,再将其切割成薄片,便成为晶圆。

芯片上的元件是以纳米为单位度量的,1纳米是十亿分之一米。作为比较,人类头发的直径大概为100微米,也就是一万分之一米,而一个病毒的直径大约为14纳米。透过最先进的光刻机,目前最先进芯片上的最小元件可以加工到5纳米以下。芯片上元件的尺寸越小,便能装更多的晶体管,芯片的功能也就越强大。

芯片的进步,使得计算能力和存储空间得到大幅度的提升,也推动了高科技的发展。未来的虚拟现实技术,人工智能技术和深度学习技术都会产生大量的数据,而要处理这些数据,离不开具有超高性能的芯片。

那么,芯片是如何制造出来的呢?

芯片的制造过程大致可分为以下十步:

1.沉积:将材料薄膜沉积在晶圆上,材料可以是导体、半导体和绝缘体

2.光刻胶涂覆:在材料薄膜上涂上一层光敏材料,光刻胶或者光阻,之后再放入光刻机

3.曝光:在光刻机中,光束透过掩模板聚焦在光刻胶上,将掩模板上的图案转移到光刻胶上

4.计算光刻:通过算法优化掩模板,减小其受光刻胶化学变化的影响

5.烘烤和显影:去除多余的光刻胶

6.刻蚀:去除多余的空白部分

7.计量和检验:时刻检测晶圆的数据并反馈给光刻系统

8.离子注入:在去除光刻胶之前注入离子调整部分晶圆的半导体特性

9.重复制程:根据所需要的层数重复光刻

10.封装芯片:切割晶圆,形成单个芯片并封装

芯片制造所需要的外部条件有哪些?

不同种类的光刻机和超净间。芯片就像是迷你的摩天大楼,它的结构可达到100多层,层与层之间以纳米精度相互交叠,这种精度也称为“套刻精度”。由于层与层之间的图案不同,便需要不同类型的光刻机来加工。ASML的深紫外线光刻机有几个不同的种类,适用于关键性的小图案和普通型的大图案。无论多小的灰尘,一旦落在晶圆上便会对晶圆造成很严重的损伤。所以芯片的制造需要在干净的环境中进行。世界上多数厂商所使用的超净间为“ISO 1级”,即空气中每立方米颗粒直径在100到200微米之间的颗粒数不超过10个,没有直径大于200微米的颗粒,而相对比之下,干净的医院里每立方米空气中有10000颗粉尘,可见,日常的环境的洁净度远远达不到超净间的标准。超净间中的空气会不断的循环和过滤,工作人员也需要穿着特殊的工作服维持超净间的洁净。

芯片的制造模式有哪些?

芯片的制造模式可分为三类:一类IDMs是设计并加工芯片,另一类Foundries是依据代工合同为其他公司加工芯片,有些公司例如高通、英伟达和超微半导体,只从事芯片的设计而不进行加工,以期节约运营成本。

芯片如何从设计走向量产?

从芯片的设计到量产总共要走过四个阶段,分别是设计阶段、开发阶段、试产阶段和量产阶段。

设计阶段:在此阶段,客户给厂商提供芯片电路,厂商根据客户的实际需求设计和优化掩模板

开发阶段:在确定了掩模板后,厂商需要在少量晶圆和光刻机上试验光刻,确保设计好的掩模板可以

被转移到光刻胶上,这也是此阶段的难点。

试产阶段:开发阶段确定好的加工设置叫做工艺窗口,在试产阶段需要做的便是扩大这个工艺窗口,

因为每加入一台光刻机便会多一个变量,例如光波长、加工精度等,为了能让更多的光刻

机协同工作,需要尝试将工艺窗口扩大,以容纳更多种设置。(可以简单理解为容错性)

量产阶段:在此阶段,厂商需要起到一定的监测作用,确保光刻机能够以最大的优良率不间断的生产

芯片。

别看芯片的体积小,但制造难度非常大,我们一般看到的芯片是小小的一枚,但是在显微镜下,如同街道星罗棋布,整齐有序,其中无数的细节令人惊叹不已。

沙子是我们生活中非常常见的一种物质,它的主要组成成分是石英,也就是二氧化硅(SiO2),沙子中二氧化硅含量高,因此,对于半导体产业来说,沙子是再合适不过的原料了。制作半导体材料所需要的原料是单晶硅,因此,需要先将沙子中的氧去除,从而得到单质硅。所以说原材料是足够的,但是生产过程却异常杂,简要说明一下步骤。

1、对沙子进行脱氧,提取沙子中的硅元素,这也是半导体制造产业的基础元素。

2、硅熔炼 ,通过多脱氧,熔炼,净化得到大晶体,就是大大的一坨,学名叫作硅锭。

3、硅锭切割,把硅锭横向切割成圆形的单个硅片,也就是大家所说的晶圆,晶圆会进行抛光打磨,打磨甚至可以拿出来当镜子用的光滑度。

4、涂胶,在旋转过程中向晶圆上均匀的涂上一层薄薄的胶。

5、光刻、通过光刻机把一个已经设计好芯片电路的芯板上所有的电路图都刻在晶圆上,此时形成了芯片的核心电路图案。

6、掺杂、在真空中向硅中添加其它的元素,以改变这些区域的导电性,这是为了下一步半导体晶体管制造奠定基础。

7、MOS管制造,MOS管是构成芯片门电路的核心,一个芯片有几十亿个这样的晶体管来组成,这一步主要的工艺就是制造MOS晶体管,形成MOS管包括元极,漏极,门极,沟区等在内的原件,然后盖上一层黄色的氧化层,再在最外层再覆盖上一层铜,以便能与晶体管进行电路的连接。最后一道工序就是把它们磨平

8、按照同样的工序制造几十亿个这样的晶体管,晶体管之间通过这些错综复杂的电路相连接,形成一个大型的集成电路。

9、检测、丢弃有瑕疵的内核,这些晶体都是在纳米级别的测试过程中,发现有瑕疵的内核将被抛弃。

10、切割、这样一个晶圆上一次会产生多个芯片内核,现在把它切割成每一个单独的芯片内核,切割后的芯片内核安装在芯片的基座上,这就是一个芯片的成品了。

11、等级测试以及评定、对芯片的最高频率,功耗,发热等进行评价,按照测试结果,评定以不同的型号进行出厂销售。

现在的芯片无处不在,从手机到人工智能再到航空航天,每一项技术都离不开芯片的支撑。虽然看起来这这十一个步骤很简单,但是其中包含的技术和工序等等十分复杂和精细。

1.芯片的原料晶圆,晶圆的成分是硅,是用石英砂提炼出来的,晶圆是提纯后的硅元素(99.999%)。然后,一些纯硅被制成硅晶棒,成为应时半导体制造集成电路的材料。将它们切片是芯片制造特别需要的晶片。晶圆越薄,生产成本越低,但对工艺的要求越高。2.晶圆涂层晶圆涂层可以抗氧化和耐高温,它的材料是一种光刻胶。3.在晶圆光刻显影和蚀刻过程中,使用了对紫外光敏感的化学物质,即它们在暴露于紫外光时会软化。通过控制遮光板的位置可以获得芯片的形状。在硅片上涂覆光刻胶,使其在紫外光照射下溶解。4.掺杂杂质以将离子注入晶片中,从而产生相应的P和N半导体。具体来说,工艺是从硅片上的曝光区域开始,放入化学离子混合溶液中。这个过程将改变掺杂区域的传导模式,使得每个晶体管可以被打开、关闭或传送数据。5.晶片测试在上述过程之后,在晶片上形成格子状的晶粒。每个晶粒的电特性通过针测试来测试。6.封装:成品晶圆固定,引脚绑定,根据要求做出各种封装形式,这就是为什么同一个芯片核可以有不同的封装形式。如迪普、QFP、PLCC、QFN等。这主要是由用户的应用习惯、应用环境、市场形态等外部因素决定的。7.芯片制造的最后一道工序是测试,可分为通用测试和专用测试。前者是测试封装芯片在各种环境下的电特性,如功耗、运行速度、耐压等。


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