一个2000平米的电子整流二极管硅芯片洁净车间，可以怎么设计？

在这类半导体产品洁净车间的设计中是以控制微粒和浮尘为主要对象，依据相关规范结合硅片生产工艺对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等受控条件做相关设计。譬如控制新风机组送风状态点，根据送风状态设定值来调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。 用循环机组AHU来保证净化车间的温度控制。采用设计合适的交流电动机变频调速控制系统，通过调速方式改变风机风量。以此保证指定区域的温湿度、洁净度和气流分布速度等。

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洁净车间装修有四大诀窍

1、在洁净厂房建筑布局中，厂房外通常设有圆形密封走廊。它提供了洁净区和外界之间的缓冲区。它有助于防止室外污染并且相对节能。厂房门窗内墙平整，无需安装窗框。应特别注意外窗的层数和结构，以密封空气中的水分，使污染颗粒不易从外部渗透。不同洁净度房间的门窗之间必须密封，以免因内外温差而结露。门窗材料应选用耐候性好、自然变形小、制造误差小、气密性好、造型简单、防尘、易清洁、无门框门槛的门窗材料。洁净工作场所的门窗应采用金属或金属涂层材料。另外，不要使用木门窗，以免长期受潮和滋生细菌。外墙开窗应与内墙平齐，窗框应倾斜或不留窗框，并采用两层固定窗，以减少能量损失。

洁净车间装修

2、地板平整、无缝、耐磨、耐腐蚀，静电不易积聚。易于清洁整个地板。设计中可采用原位水磨石地坪，石材直径为6-15mm。其中，分离棒要用铜棒隔开，不能用玻璃棒。目前主要采用环氧自流地坪。它是一种复合树脂地板。无溶剂、无毒、无味、无缝、自流平。是的。实现镜面装饰效果、无缝连接、耐油、耐酸、耐碱、耐盐化学溶剂。洁净车间装修具有抗静电、低发尘、耐磨、抗冲击等性能，但价格昂贵。多用于电子、医疗、血液制品的地面及其他要求高洁净度、美观、无尘、无菌的生产车间。自流环氧地坪的使用寿命为 1 毫米或更长，通常可以使用 6 年或更长时间。防潮层应放置在地板上的垫子下，以防止混凝土废物管线通过清洁区域。

洁净车间装修

3. 洁净车间装修

墙面应光滑、平整、无尘、耐腐蚀、色彩协调、易识别污染物。内墙涂料应涂上防霉、防静电、防眩光的材料。 ，并能经得起清洗和消毒。墙体与地面相交处的圆弧半径应为50mm，以减少灰尘堆积，便于清洁。交通走廊等脆弱区域的墙壁上应设置防撞护栏，防止装修材料因振动而落下灰尘。

4、洁净车间装修为保证房间的清洁，所有送风管道和灯具必须放置在技术夹层内。今天，大多数制药公司使用彩钢夹芯板来密封天花板。彩钢夹芯板具有重量轻、整体强度高、整体性高、发尘少等特点，更适合GMP生产车间。但是，固定吊顶必须与主体结构相连，不能与管件或管道支架混合使用。天花板和墙壁应连接顺畅。天花板和回风管道必须正确关闭。吊顶安装完成后，应进行灯光检查，确保没有间隙。根据工艺要求，维修通道一般需要设置在技术夹层上，以方便管道维修和更换管道。

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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