刀片切割是指用金刚石刀片切割晶圆,这种方法最为普遍,但容易产生摩擦热和碎屑,需要用纯净水,在切割过程中进行冷却清洗。
激光切割的精度更高,能轻松处理厚度较薄或划片线间距很小的晶圆。
等离子切割采用等离子刻蚀的原理,因此即使划片线间距非常小,这种技术同样能适用。
切割机和划片机是半导体芯片制造过程中的同一种设备,只是名称不同,没有什么区别。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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