半导体芯片制造有哪些工艺流程，会用到那些设备，这些设备的生产商有哪些？

主要是对硅晶片（Si

wafer）的一系列处理

1、清洗

->

2、在晶片上铺一层所需要的半导体

->

3、加上掩膜

->

4、把不要的部分腐蚀掉

->

5、清洗

重复2到5就可以得到所需要的芯片了

Cleaning

->

Deposition

->

Mask

Deposition

->

Etching

->

Cleaning

1、中的清洗过程中会用到硝酸，氢氟酸等酸，用于清洗有机物和无机物的污染

其中Deposition过程可能会用到多种器材，比如HELIOS等~

Mask

Deposition过程中需要很多器材，包括Spinner，Hot

plate，EVG等等~

根据材料不同或者需要的工艺精度不同，Etching也分很多器材，可以使用专门的液体做Wet

etch，或者用离子做Plasma

Etching等

最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~

多数器材都是Oxford

Instruments出的

具体建议你去多看看相关的英文书，这里说不清楚。。

SECS是半导体组织semi和制造商为降低连接成本，实现工厂智能化而制定的统一行业标准。

semi secs/gem在上个世纪就已经存在，使用R232接口进行通讯。 20世纪90年代以后，以太网技术日趋成熟和普及，慢慢走向以太网时代。 RJ45接口。

半导体SECS/GEM有R232标准E4（SECS-I）和RJ45以太网标准E37（HSMS）。

英特尔、AMD、台积电、英飞凌在半导体领域一直走在前列，在90年代建厂时就实现了智能化。

国际上成熟的MES厂商主要有Applied Materials、IBM（International Business Machines Corporation）、西门子（SIEMENS）等。

中国这几年发展很快，同时也在慢慢走向高端，所以就有了联网的需求。

尤其是在2019年被美国制裁之后，我们发现半导体到处卡壳。国家提出大力推进半导体装备和半导体芯片设计制造能力国产化。

国内设备从封装测试设备、基本的晶圆、打线、切割、AOI等，到晶圆厂的高端光刻机、离子注入、气相沉积等，都没有高端设备。

金南瓜率先响应号召，推出纯本土化的SECS/GEM解决方案，防止国产设备卡顿、泄密。

我们过去接触的SECS/GEM都是国外的，或者是国内公司包装的美日韩产品。金南瓜正在为中华民族的伟大复兴而努力奋斗，也在为中国半导体行业添砖加瓦引路。

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