半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

半导体行业超纯水质量会有哪些要求?,第1张

 超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

超纯水是一种除了水分子以外,没有细菌、病毒、矿物质微量元素、有机物质的水,超纯水由超纯水设备制取,那么超纯水设备的主要用途有哪些呢?

超纯水的电阻率可达18

MΩ*cm(25℃),用超纯水设备制取处理的纯水可应用于电子行业、食品工业、饮料用水、酿酒工业、电池工业、玻璃用水、医疗行业、超纯材料和超纯试剂的生产等领域。

超纯水设备采用的是水的预处理技术、EDI、反渗透技术、去离子水技术以及超纯化水处理等。

超纯水设备可采取一级RO、二级RO、二级抛光混床、EDI、抛光混床等水处理工艺制取出18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm的水质。

超纯水设备的优势在于:

1、采用可靠、技术先进、成熟的水处理工艺

2、技术先进,设备在运行时消耗的能量低、运行成本低且设备安全

3、可根据用户的需求定制每小时不同的产水量(0.25T/H、0.5T/H、1T/H.....1000T/H不等)。

4、设备设有自动化控制面板、检测仪器、自动报警装置

5、可制取电导率≤0.055 μS/cm 电阻率≥18.2 MQ-cm的水质

超纯水设备的主要用途有很多,主要是根据用户的用水对象,用水对象不同对于水的水质要求是不一样的,因此纯水设备采取的水处理工艺不同。

启科UPT-I超纯水系统针对不同领域的用水特点,综合不同水质纯化工艺特点,选用国际知名品牌配件,高性能,超纯净的材料,产水水质稳定可靠。

机器性能

*** 作模式:微电脑控制、触摸式按键、一键式 *** 作。

系统监控:四行液晶实时显示潭水水质,产水水质参数、温度、产水时间,故障报警显示。

安全保障:缺水、断电自动保护,超纯化柱更换提醒,手动

及自动循环灭菌,紫外线工作状态时时监测。

其他性能:0-999分钟时间设定,定时定量取水、密码保护,

液位自控(加配PE水箱)

拓展功能:脚踏开关,活动取水臂实现远城取水,红外遥控。

UPT-I-10J超纯水器技术参数及特点

◆ 型号:UPT-I-10J

◆ 应用领域:原子吸收光谱(AAS)、原子荧光、 普通化学、电感耦合等离子光谱仪(ICP-AES).

◆ 功能特点:UPT-I系统针对不同领域的用水特点,综合不同水质纯化工艺特点,选用国际知名品牌配件,高性能,超纯净的材料,产水水质稳定可靠。

◇ *** 作模式:微电脑控制,触摸式按键,一键式 *** 作。

◇ 系统监控:四行液晶时时显示纯水,超纯水水质参数,温度,产水时间,故障报警显示。

◇ 安全保障:手动及自动清洗预处理单元,缺水,断电自动保护,纯化柱。超纯化柱更换提醒,手动及自动循环灭菌,紫外灯工作状态时时检测。

◇ 其他性能:0~999分钟时间设定,定时定量取水,密码保护,液位自控(加配PE水箱)

◇ 扩展功能:脚踏开关,活动取水臂实现远程取水,红外遥控.

◆ UPT-I-J超纯水器技术参数

◇ 产品型号:UPT-I-10J超纯水器

◇ 工作条件:源水:市政自来水(TDS≥300加配强化前处理单元)

◇ 源水压力:1.0~5.0kg/cm2

◇ 温度:4~40℃

◇ 电源:220V±10V/ 50Hz (功率:30~50W)

◇ 型号:生命科学型UPT-10/20/30/40S

◇ 紫外灯:无

◇ MW5000LF过滤器:无

◇ 产水量(L/H):10/20/30/40L

◇ 出水流速(L/min):1.5~2.0

◇ TOCTOC(ppb):<20

◇ 热源(EU/ml):--------

◇ 微生物(配除菌器):<1cfu/ml

◇ 终端过滤器孔径:0.22μm

◇ 超纯水水质:水质符合国家实验室GB6682-92,美国ASTM、NCCLS、CAP试剂结构水,

电阻率(电导率)(8~20MΩ-cm, 0.054Μs/cm),可溶性硅SiO2)<0.1PPb,

吸光度(254nm,1cm)≤0.001离子浓度单位:PPb

◇ 外形尺寸(宽×深×高):500×500×750mm 机箱为不锈钢,永不生锈,美观大方.


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