封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。
1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;
2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;
3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;
4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;
5,其他根据芯片特性的测试。
基本封装设备:B/G:
磨片
lamination:贴膜
DA:
贴片
W/B:打线
Mold:塑封
marking:打印
S/G:切割
基本测试设备:
B/I
设备:
对产品进行信赖性评价
test设备:
对产品进行电性测试;
LIS:
对产品外观进行检查
半导体具有在不同电压下电阻不同的特性1、半导体处于导通状态,电阻非常小但根据伏安特性是有电阻存在的
2、半导体处于截止状态,电阻非常大但电压加到一定程度时可以出现击穿
3、半导体处于临界状态,电阻值根据伏安特性是可以计算的
综上所述:半导体是可以用伏安测试仪测电阻的,只是不同状态,不同电压,正负方向电阻是不同的,所以,销售半导体的厂商,产品手册上提供伏安特性表,是一个平面坐标系。
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