什么是半导体显微镜?

什么是半导体显微镜?,第1张

物质世界中有绝缘体和导体,而介于绝缘体和导体之间的材料就是半导体了。半导体按照制造技术可分为:集成电路器件、分立器件、光电半导体、模拟IC、储存器等。半导体显微镜就可以用于这些器件的检测。奥林巴斯半导体显微镜MX63有强大的观察能力和简单的 *** 作特性。可以通过奥林巴斯的这款显微镜来了解半导体显微镜的特点。如果您认可我的回答,请采纳

【显微镜的主要构造】

普通光学显微镜的构造主要分为三部分:机械部分、照明部分和光学部分。

1.机械部分

(1)镜座:是显微镜的底座,用以支持整个镜体。

(2)镜柱:是镜座上面直立的部分,用以连接镜座和镜臂。

(3)镜臂:一端连于镜柱,一端连于镜筒,是取放显微镜时手握部位。

(4)镜筒:连在镜臂的前上方,镜筒上端装有目镜,下端装有物镜转换器。

(5)物镜转换器(旋转器):接于棱镜壳的下方,可自由转动,盘上有3-4个圆孔,是安装物镜部位,转动转换器,可以调换不同倍数的物镜,当听到碰叩声时,方可进行观察,此时物镜光轴恰好对准通光孔中心,光路接通。

(6)镜台(载物台):在镜筒下方,形状有方、圆两种,用以放置玻片标本,中央有一通光孔,我们所用的显微镜其镜台上装有玻片标本推进器(推片器),推进器左侧有d簧夹,用以夹持玻片标本,镜台下有推进器调节轮,可使玻片标本作左右、前后方向的移动。

(7)调节器:是装在镜柱上的大小两种螺旋,调节时使镜台作上下方向的移动。

①粗调节器(粗螺旋):大螺旋称粗调节器,移动时可使镜台作快速和较大幅度的升降,所以能迅速调节物镜和标本之间的距离使物象呈现于视野中,通常在使用低倍镜时,先用粗调节器迅速找到物象。

②细调节器(细螺旋):小螺旋称细调节器,移动时可使镜台缓慢地升降,多在运用高倍镜时使用,从而得到更清晰的物象,并借以观察标本的不同层次和不同深度的结构。

2.照明部分

装在镜台下方,包括反光镜,集光器。

(1)反光镜:装在镜座上面,可向任意方向转动,它有平、凹两面,其作用是将光源光线反射到聚光器上,再经通光孔照明标本,凹面镜聚光作用强,适于光线较弱的时候使用,平面镜聚光作用弱,适于光线较强时使用。

(2)集光器(聚光器)位于镜台下方的集光器架上,由聚光镜和光圈组成,其作用是把光线集中到所要观察的标本上。

①聚光镜:由一片或数片透镜组成,起汇聚光线的作用,加强对标本的照明,并使光线射入物镜内,镜柱旁有一调节螺旋,转动它可升降聚光器,以调节视野中光亮度的强弱。

②光圈(虹彩光圈):在聚光镜下方,由十几张金属薄片组成,其外侧伸出一柄,推动它可调节其开孔的大小,以调节光量。

3.光学部分

(1)目镜:装在镜筒的上端,通常备有2-3个,上面刻有5×、10×或15×符号以表示其放大倍数,一般装的是10×的目镜。

(2)物镜:装在镜筒下端的旋转器上,一般有3-4个物镜,其中最短的刻有“10×”符号的为低倍镜,较长的刻有“40×”符号的为高倍镜,最长的刻有“100×”符号的为油镜,此外,在高倍镜和油镜上还常加有一圈不同颜色的线,以示区别。

显微镜的放大倍数是物镜的放大倍数与目镜的放大倍数的乘积,如物镜为10×,目镜为10×,其放大倍数就为10×10=100。

显微镜的成像原理】

当把待观察物体放在物镜焦点外侧靠近焦点处时,在物镜后所成的实像恰在目镜焦点内侧靠近焦点处,经目镜再次放大成一虚像。观察到的是经两次放大后的倒立虚像。

【显微镜的分类】

显微镜分光学显微镜和电子显微镜。

光学显微镜是在1590年由荷兰的杨森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1500倍,分辨的最小极限达0.2微米。光学显微镜的种类很多,除一般的外,主要有暗视野显微镜一种具有暗视野聚光镜,从而使照明的光束不从中央部分射入,而从四周射向标本的显微镜.荧光显微镜以紫外线为光源,使被照射的物体发出荧光的显微镜。

电子显微镜是在1931年在德国柏林由克诺尔和哈罗斯卡首先装配完成的。这种显微镜用高速电子束代替光束。由于电子流的波长比光波短得多,所以电子显微镜的放大倍数可达80万倍,分辨的最小极限达0.2纳米。1963年开始使用的扫描电子显微镜更可使人看到物体表面的微小结构。

光学显微镜的分类,根据照明方法,有透射型与反射(落射)型二种。透射型显微镜是应用透射照明通过透明物体的打光方法。反射型显微镜是以物镜上方打光到(落射照明)不透明的物体上。另一种分类方法,系根据观察方法的差异,分为明视野显微镜、暗视野显微镜、相位差显微镜、偏光显微镜、干涉相位差显微镜、荧光显微镜等。每种显微镜一般又各有透射型和反射型二种。在这些显微镜中,特别是明视野显微镜是构成所有显微镜中组成最基本的基础。通过这种显微镜观察的物体,穿过透过(吸收)率、反射率,因场所不同而各不相同,这种物体被称为随照明光强度(振幅)变化振幅物体,无色透明物体只有在照明相位改变时,才能被肉眼观察到,由於明视野显微镜不能改变相位,所以对透明不染色标本不能被观察到。

光学显微镜是为了使肉眼看不清楚的标本影像,人们设想经过一种装置,使肉眼能够观察到该标本组织形态和其间的结构。这种设想的装置就被后人创造问世了。当前广泛应用在各种微小物体的观察、测定、分析、分类、鉴定等。在波长范围上也不限於可见光波段(4000~7000 )而且(>2000 )到红外(1~2u)以及用眼睛观察、显微、摄影和一般辐射检测器放大。

显微镜的综合倍率是物镜倍率G1与目镜倍率G2的乘积,G=G1×G2。G1是1~100倍,G2是5~20的范围。

数值孔径(Numerical Aperture)N.A.是决定物镜的分辨率、焦深、图像亮度的基本数据,当物镜焦点对好后,物镜前透镜最边缘处的倾斜光线与显微镜光轴所交角成α,此即该物镜的半孔径角设标本数据空间的折射率为n,则N.A.=n×sinα。

n通常在空气中为1,在物镜与标本间浸入水、甘油、油脂时,该标本折射率,即随浸液不同而异。这种物镜称为浸液系物镜;如是空气时,称为干燥系物镜。

在显微镜上,限制视野的装置是视野光圈。以物镜侧观看这种视野光圈时的直径以mm单位表示的值称为视野数。实际视野=视野。

实际视野=视野数/物镜倍率

例如,视野数为20,则10×物镜就观看2mm视野范围。应用聚光镜时,根据可变的视野光圈,再决定选用聚光镜的N.A.值,其值是取决於可变聚光镜孔径光圈来确定。

显微镜的发明,使人看到了许多以前从未看到过的生物,如细菌、病毒等,也使人看到了生物的许多微小结构,如线粒体的结构,从而对生物学的发展起着重要的推动作用。显微镜是生物学研究的重要仪器之一。在医学、工农业生产中显微镜也有着重要用途,例如在医学诊断上,可对人血液中的红细胞进行计数等。

十九世纪中期,人们发明了光学显微镜。

1665年,英国学者虎克(Robert Hooke)设计制造了首架光学显微镜,当时放大倍数为40~140倍,并用此首次观察并描述了植物细胞,同年发表《显微图谱》一书。

此后,荷兰学者列文·虎克(A。V。Leeuwenhoek)用自己设计的更先进的显微镜观察了动物细胞,并描述了细胞核的形态。直到今天,光学显微技术已从普通复式光学显微技术发展为荧光显微技术、共焦点激光扫描显微镜技术、数字成象显微镜技术、暗场显微镜技术、相差和微分干涉显微镜技术和录像增加反差显微镜技术等等。

可见,光学显微技术已成为人类认识微观世界的必要工具,借助它,使人们认识了细胞。然而,准确的理论计算表明,光学显微镜质量无论无何改善--不论是用多少组镜片,使用油镜头还是加强光源,放大率至多1000~1500,分辨本领至多 。这就成为人类认识更小的物体:病毒和分子、原子的瓶颈问题。

著名物理学家海仑霍尔等人在理论上证明:限制光学显微镜分辨本领及放大率的因素是光的波长。因而人们转向寻找一种成像媒介--波,它具有可视、可拍摄照片、波长短、且能用装置改变波的运动路线的特点。

20世纪初,恰伊斯发明了紫外光显微镜,使分辨率有了大提高 ,这是一次质的飞跃,但紫外线仍不是最好的成像媒介,不能满足科研和生产需要。

1926年,德国科学家蒲许指出,具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜作用。可惜研究者没有考虑到利用它放大物体。

1932年,柏林科工大学压力实验室的年轻研究员卢斯卡和克诺尔对阴极射线示波器做了一些改进,成功得到放大几倍后的铜网图像,这大大鼓舞了人们,确立了电子显微法。

1933年底,卢斯卡制成了能放大一万倍的电子显微镜,并拍摄了金属箔和纤维的放大像。使电子显微镜的放大倍数超过了光学显微镜。

1937年,柏林科工大学的克劳塞和穆勒成功的制出了分辨率为纳米级(10-9m)的电子显微镜,西门子公司得知后,将主要精力转到适用电子显微镜的制造上,并聘请了卢斯进行研究。次年,西门子公司第一批分辨率为 的电子显微镜上市。

随后,在人们的研究下,电子显微镜的质量不断提高。如今,其分辨率和放大倍数使人们能更准确地认识了病毒、分子、原子和夸克。

【暗视野显微镜】

暗视野显微镜由于不将透明光射入直接观察系统,无物体时,视野暗黑,不可能观察到任何物体,当有物体时,以物体衍射回的光与散射光等在暗的背景中明亮可见。在暗视野观察物体,照明光大部分被折回,由于物体(标本)所在的位置结构,厚度不同,光的散射性,折光等都有很大的变化。

【相位差显微镜】

相位差显微镜的结构:

相位差显微镜,是应用相位差法的显微镜。因此,比通常的显微镜要增加下列附件:

(1) 装有相位板(相位环形板)的物镜,相位差物镜。

(2) 附有相位环(环形缝板)的聚光镜,相位差聚光镜。

(3) 单色滤光镜-(绿)。

各种元件的性能说明

(1) 相位板使直接光的相位移动 90°,并且吸收减弱光的强度,在物镜后焦平面的适当位置装置相位板,相位板必须确保亮度,为使衍射光的影响少一些,相位板做成环形状。

(2) 相位环(环状光圈)是根据每种物镜的倍率,而有大小不同,可用转盘器更换。

(3) 单色滤光镜系用中心波长546nm(毫微米)的绿色滤光镜。通常是用单色滤光镜入观察。相位板用特定的波长,移动90°看直接光的相位。当需要特定波长时,必须选择适当的滤光镜,滤光镜插入后对比度就提高。此外,相位环形缝的中心,必须调整到正确方位后方能 *** 作,对中望远镜就是起这个作用部件。

【视频显微镜】

将传统的显微镜与摄象系统,显示器或者电脑相结合,达到对被测物体的放大观察的目的。

最早的雏形应该是相机型显微镜,将显微镜下得到的图像通过小孔成象的原理,投影到感光照片上,从而得到图片。或者直接将照相机与显微镜对接,拍摄图片。随着CCD摄象机的兴起,显微镜可以通过其将实时图像转移到电视机或者监视器上,直接观察,同时也可以通过相机拍摄。80年代中期,随着数码产业以及电脑业的发展,显微镜的功能也通过它们得到提升,使其向着更简便更容易 *** 作的方面发展。到了90年代末,半导体行业的发展,晶圆要求显微镜可以带来更加配合的功能,硬件与软件的结合,智能化,人性化,使显微镜在工业上有了更大的发展。

【荧光显微镜】

在萤光显微镜上,必须在标本的照明光中,选择出特定波长的激发光,以产生萤光,然后必须在激发光和萤光混合的光线中,单把萤光分离出来以供观察。因此,在选择特定波长中,滤光镜系统,成为极其重要的角色。

萤光显微镜原理:

(A) 光源:光源幅射出各种波长的光(以紫外至红外)。

(B) 激励滤光源:透过能使标本产生萤光的特定波长的光,同时阻挡对激发萤光无用的光。

(C) 萤光标本:一般用萤光色素染色。

(D) 阻挡滤光镜:阻挡掉没有被标本吸收的激发光有选择地透射萤光,在萤光中也有部分波长被选择透过。

【偏光显微镜】

偏光显微镜是用于研究所谓透明与不透明各向异性材料的一种显微镜。凡具有双折射的物质,在偏光显微镜下就能分辨的清楚,当然这些物质也可用染色法来进行观察,但有些则不可能,而必须利用偏光显微镜。

(1)偏光显微镜的特点

将普通光改变为偏振光进行镜检的方法,以鉴别某一物质是单折射(各向同行)或双折射性(各向异性)。双折射性是晶体的基本特性。因此,偏光显微镜被广泛地应用在矿物、化学等领域,在生物学和植物学也有应用。

(2)偏光显微镜的基本原理

偏光显微镜的原理比较复杂,在此不作过多介绍,偏光显微镜必须具备以下附件:起偏镜,检偏镜,补偿器或相位片,专用无应力物镜,旋转载物台。

【超声波显微镜】

超声波扫描显微镜的特点在于能够精确的反映出声波和微小样品的d性介质之间的相互作用,并对从样品内部反馈回来的信号进行分析!图像上(C-Scan)的每一个象素对应着从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈,具有良好聚焦功能的Z.A传感器同时能够发射和接收声波信号。一副完整的图像就是这样逐点逐行对样品扫描而成的。反射回来的超声波被附加了一个正的或负的振幅,这样就可以用信号传输的时间反映样品的深度。用户屏幕上的数字波形展示出接收到的反馈信息(A-Scan)。设置相应的门电路,用这种定量的时间差测量(反馈时间显示),就可以选择您所要观察的样品深度。

【解剖显微镜】

解剖显微镜,又被称为实体显微镜或立体显微镜,是为了不同的工作需求所设计的显微镜。利用解剖显微镜观察时,进入两眼的光各来自一个独立的路径,这两个路径只夹一个小小的角度,因此在观察时,样品可以呈现立体的样貌。解剖显微镜的光路设计有两种: The Greenough Concept和The Telescope Concept。解剖显微镜常常用在一些固体样本的表面观察,或是解剖、钟表制作和小电路板检查等工作上。

半导体显微镜可用于观察集成电路器件、分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、存储器等产品。奥林巴斯的半导体显微镜有多种观察方式。偏光可以观察到晶圆的纹理和晶体样貌。微分干涉差可以用来观察具有细微高度差异的样品。然后明场+暗场的观察方式可以观察到样本表面细微的划痕以及晶片等镜面样品。


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/7636283.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-08
下一篇 2023-04-08

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存