半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

半导体行业超纯水质量会有哪些要求?,第1张

 超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

正常来说,纯水设备生锈是被侵蚀,水质偏向酸性,可是现在的设备很多出是不锈钢做的,不锈钢表面有一层匀称的氧化铬保护层厚度,可以抵御高水温和酸性水对不锈钢的侵蚀。换句话说,如果不锈刚表面生锈,说明不锈钢的膜已经失去了防护作用。所以,正常情况下,纯水设备都不会生锈。

但是呢,纯水设备在用使用的过程中,当时间长了,设备也会生锈。那么,该如何去避免纯水设备生锈呢?下面就由佳洁小编来为大家介绍如何避免设备生锈。

纯水设备

1、用维护膜或涂料按捺腐蚀时,维护膜有些决裂或涂料有些掉落,这些决裂或掉落的当地遭到腐蚀。

2、保证防腐涂料具有良好的附着力、柔韧性以及耐长期冲刷的性能。

3、保证防腐涂料在运输、安装及使用中有良好耐紫外线照射及防水防冻的性能.

4、设备,管道内外喷漆防腐,金属外表所触摸的水溶液中,氧的浓度不一样,构成氧的浓差电池,富氧有些为阴极,而缺氧有些则成阳极遭到腐蚀。

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

从以上工艺就能看出你需要哪些设备啦


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