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方块电阻是一种描述半导体导电性能的方法。设一块长度、宽度和厚度分别为L、W、d,电阻率为ρ的半导体薄片,电阻的计算式为R=ρ(L/dW)=(ρ/d)(L/W),可以理解为,薄片的电阻正比于长度比宽度,比例系数为ρ/d。这个比例系数就是方块电阻,用Rs表示,Rs=ρ/d.利用方块电阻式,电阻计算式可以写成R=Rs(L/W),当L=W时,R=Rs,也就是说,方块电阻实际上表示的是一个正方形薄层边到边的电阻,而且它与正方形的边长无关,只与材料和厚度有关。四四方方的是电容,这种电容一般都是用在高压部分,与电感一起组成感容滤波和抗干扰作用。方块电阻方块电阻又称薄层电阻,其定义为正方形的半导体薄层,在电流方向所呈现的电阻,单位为欧姆每方。关系式:方块电阻Rs=ρ/w (其中ρ为薄层材料的电阻率,w为薄层材料的厚度). 注意: 1-薄层材料的电阻率必须是均匀的.如样品是扩散层,本关系式不成立; 2-假如采用直线四点探针法测试样品,必须在w/s小于0.6的情况下(其中s为探针间距),使用本关系式.
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