半导体材料的压阻效应

半导体材料的压阻效应,第1张

所谓半导体的压阻效应,是指当半导体受到应力作用时,由于载流子迁移率的变化,使其电阻率发生变化的现象。它有以下优点:

①灵敏度与精度高;

②易于小型化和集成化;

③结构简单、工作可靠,在几十万次疲劳试验后,性能保持不变;

④动态特性好,其响应频率为103~105Hz。

压阻效应是指当半导体受到应力作用时,由于应力引起能带的变化,能谷的能量移动,使其电阻率发生变化的现象。

它是C.S史密斯在1954年对硅和锗的电阻率与应力变化特性测试中发现的。半导体压阻传感器已经广泛地应用于航空、化工、航海、动力和医疗等部门。

它有以下优点:

1、灵敏度与精度高。

2、易于小型化和集成化。

3、结构简单、工作可靠,在几十万次疲劳试验后,性能保持不变。

4、动态特性好,其响应频率为103~105Hz。


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