中国光刻机历程
1964年中国科学院研制出65型接触式光刻机;1970年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩膜工艺;清华大学研制第四代分部式投影光刻机,并在1980年获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。而那时,光刻机巨头ASML还没诞生。
然而,中国在1980年代放弃电子工业,导致20年技术积累全部付诸东流。1994年武汉无线电元件三厂破产改制,卖副食品去了。
1965年中国科学院研制出65型接触式光刻机。
1970年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺。
1972年,武汉无线电元件三厂编写《光刻掩模版的制造》。
1977年,我国最早的光刻机GK-3型半自动光刻机诞生,这是一台接触式光刻机。
1978年,1445所在GK-3的基础上开发了GK-4,但还是没有摆脱接触式光刻机。
1980年,清华大学研制第四代分步式投影光刻机获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。
1981年,中国科学院半导体所研制成功JK-1型半自动接近式光刻机。
1982年,科学院109厂的KHA-75-1光刻机,这些光刻机在当时的水平均不低,最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年。
1985年,机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到美国4800DSW的水平。这应当是中国第一台分步投影式光刻机,中国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
但是很可惜,光刻机研发至此为止,中国开始大规模引进外资,有了"造不如买”科技无国界的思想。光刻技术和产业化,停滞不前。放弃电子工业的自主攻关,诸如光刻机等科技计划被迫取消。
九十年代以来,光刻光源已被卡在193纳米无法进步长达20年,这个技术非常关键,这直接导致ASML如此强势的关键。直到二十一世纪,中国才刚刚开始启动193纳米ArF光刻机项目,足足落后ASML20多年。
光刻机唯一上市公司上海微电子(光刻机相关上市公司)发布于 2022-12-19 08:59分类:知识阅读(413)
上微光刻机是哪家上市公司?
上微光刻机是上市公司上海微电子装备有限公司的,股票简称华微电子,股票代码是600360。
芯原一年招多少硕士?
一年大约招六个硕士
芯原微电子(上海)股份有限公司(芯原股份,688521.SH)是一家依托自主半导体IP,为客户提供平台化、全方位、一站式芯片定制服务和半导体IP授权服务的企业。在芯原独有的芯片设计平台即服务(SiliconPlatformasaService,SiPaaS)经营模式下,通过基于公司自主半导体IP搭建的技术平台,芯原可在短时间内打造出从定义到测试封装完成的半导体产品,为包含芯片设计公司、半导体垂直整合制造商(IDM)、系统厂商、大型互联网公司和云服务提供商在内的各种客户提供高效经济的半导体产品替代解决方案。
上微90nm光刻机谁在用?
应该是华虹半导体、长江存储等公司在用
上海微电子的90纳米光刻机是该公司唯一制程的量产产品。上海微电子则是国内光刻机制造技术最先进的厂商。根据上海微电子持续中标重大项目来看,采购客户涵盖长江存储、华虹半导体、中芯国际、京东方、华星光电等国内一线高科技大厂。像华虹半导体是做ic卡芯片的,使用低端90纳米光刻机完全够用,长江存储对制程要求也不高,使用上海微电子90纳米光刻机也够用了。
国内十大光刻机排名?
国内光刻机排名第一的是上海微电子。
国内只有一家做光刻机整机的公司,就是上海微电子。目前全球只有四家公司可以制造光刻机,分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子,其他拥有光刻机的公司基本上都是用的荷兰阿斯麦尔公司的光刻机,并不是光刻机制造商。所以国内没有十大光刻机排名,只有四家的排名。
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