半导体废气处理？

半导体废气处理

废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

吸气压力：0.1MPa~0.6MPa。排气压力：1MPa～2.5MPa。压缩机吸入的压力为压缩的的吸气压力，一般情况下就是大气压力（工程上大约等于1Kgf/cm^2)，压缩的排出压力约等于其贮气罐的压力。

排气压力：1MPa～2.5MPa。如是表压，需加1Kgf/cm^2，成为绝对压力，压缩机的压缩比为其出口绝对压力与进口绝对压力之比，当压缩机采用多级压缩时。

每级的压缩比也是该级出口绝对压力与进口绝对压力之比。压缩机的压缩比不能太大，它不但增加能耗，且其出口温度会很高，使压缩机油燃烧（不能超过其油的闪点）而损坏压缩机。

扩展资料：

输入、输出功率，性能系数，制冷量，启动电流、运转电流、额定电压、频率，气缸容积，噪音等。衡量一种压缩机的性能，主要从重量、效率和噪音三个方面的比较。

按照中国标准，其安全性能检验是依据 GB4706.17-2004规定项目进行的。其中主要项目是电气强度、泄漏电流、堵转，以及过载运行试验等。

对空调器压缩机的性能检验，依据 GB5773－2004 中的规定进行。

另外，在产品定型及生产中发生可能影响产品性能的重大变化时，连续生产满一年或时隔一年以上再生产时，以及出厂检验结果与型式试验有较大差异时，均必须进行型式试验。

包装储运：

压缩机的包装和运输可按合同规定办理。大批量进口的压缩机，一般是装入纸箱内再以集装箱装运。压缩机在包装箱内应固定牢靠，并有防潮防震措施。储运中不许倒置，并储存在通风良好的仓库中，相对湿度不能超过 80% ，不能有腐蚀性气体存在。

进口国家：在国内压缩机供应不足的情况下，中国每年还需适量进口。主要贸易国家是德国、美国、意大利、日本、丹麦、巴西、韩国等。设备改造，国产压缩机的质量、产量都大幅度提高。

参考资料来源：百度百科-压缩机

参考资料来源：百度百科-排气压力

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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