半导体工艺废气如何处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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净化工程公司是指专业以空气净化工程、洁净室工程装修、洁净空调机组系统安装、洁净空气过滤系统安装、洁净车间机电安装、洁净室地板安装等为主要业务的。

净化在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。

简介

净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。

严格按照洁净室国际标准《ISO/DIS14644》国家标准《洁净厂房设计规范GB50073-2001》及欧洲美国GMP规范等要求，为各行业提供各净化等级要求的空气净化系统及中央空调系统的工程设计、安装、调试及售后维修服务，公司销售各类净化设备配件、空调设备配件、优质彩钢瓦楞板、彩钢净化板、岩棉板等。

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