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首先我们了解5*10-5帕,是一个相当高的真空度水平;其中涉及到的真空泵有前级的旋片真空泵+分子泵还要有一台离子泵;基本到达10-2帕是很快的,后面就要耗时间了。这需要长时间的烘烤脱气才能达到。5min时间就本人从业十几年的经验,想想就可以了。具体有以下转速。真空泵有很多种型号,不同型号、不同功率的真空泵,其的转速也是不同的,像2BV,SK,2SK系列的水环真空泵,功率小于4KW的其转速一般是2880(r.p.m),功率在4KW至15KW的,其转速一般是1450(r.p.m),功率在15KW至30KW的,其转速一般是970(r.p.m),30KW至90KW的,其转速一般是740(r.p.m)。
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