3D
轮廓传感器在国内发展年限不算长属于初期发展的行业,目前来说是国外的3D传感器比较先进这是现状像日本的基恩士,加拿大的LMI,美国康耐视这些都是非常出名的,但是国外的厂家基本不会提供配套的软件服务需要自身再去 找软件外包设计软件才能使用所以成本比较大,相比与国外可能国内的起步比较晚,但是现在国内3D
激光轮廓器投入大发展速度也非常快,精度都能达到微米级别,已经可以满足很大一部分的精度
测量了,而且都有配套的软件服务,相比国外我们国内的产品更多的是后期软件配套服务好投入成本要小很多像现在国内的我们清波光电在国内3D激光轮廓领域就是非常不错的(LMI 最新3D传感器Gocator 2530*10 kHZ频率,集扫描,测量和在线检测于一体*100毫米视野 (远端)*X方向分辨率达28微米*Z方向可重复性为0.5微米*测量范围80毫米青波光电LH-2320*8 kHZ频率,集扫描,测量和在线检测于一体*96毫米视野 (远端)*X方向分辨率达26-48微米*Z方向可重复性为0.8微米*测量范围80毫米)
光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)。
测量参数:
1.垂直测量范围:27mm
2.垂直分辨率:<2nm
3.扫描速度:1m/s
4.横向分辨率:5nm
5.可视区域:400*600mm
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