微电子行业中高效空气过滤器的作用

高效空气过滤器广泛用于各行业的无尘净化车间的空调末端送风处，具有很好的过滤洁净作用。领先的晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。高效空气过滤器在微电子行业的作用使微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染

.1962年生产出晶体管——晶体管理逻辑电路和发射极藉合逻辑电路。MOS集成电路出现。由于MOS电路在高度集成方面的优点和集成电路对电子技术的影响，集成电路发展越来越快。

70年代，高效空气过滤器在微电子行业的作用使微电子技术进入了以大规模集成电路为中心的新阶段。随着集成密度日益提高，集成电路正向集成系统发展，电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助，较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。70年代以来，集成电路利用计算机的设计有很大的进展。制版的计算机辅助设计、器件模拟、电路模拟、逻辑模拟、布局布线的计算辅助设计等程序，都先后研究成功，并发展成为包括校核、优化等算法在内的混合计算机辅助设计，乃至整套设备的计算机辅助设计系统。

集成电路制造的计算机管理，也已开始实现。此外，与大规模集成和超大规模集成的高速发展相适应，有关的器件材料科学和技术、测试科学和计算机辅助测试、封装技术和超净室技术等都有重大的进展。电子技术发展很快，在工艺技术上，微细加工技术，如电子束、离子束、X射线等复印技术和干法刻蚀技术日益完善，使生产上在到亚微米以至更高的光刻水平，集成电路的集成弃将超大型越每片106—107个元件，以至达到全图片上集成一个复杂的微电子系统。高质量的超薄氧化层、新的离子注入退火技术、高电导高熔点金属以其硅化物金属化和浅欧姆结等一系列工艺技术正获得进一步的发展。在微电子技术的设计和测试技术方面，随着集成度和集成系统复杂性的提高，冗余技术、容错技术，将在设计技术中得到广泛应用。

高效空气过滤器主要针对过滤0.3μm以下的空气悬浮颗粒, 广泛应用于电子、半导体、精密机械、制药、医院、均经过严格测试。食品等行业中对洁净度要求较高的民用或工业洁净场所的未端过滤。高效空气过滤器一般应用半导体制造工场、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。

高效空气过滤器包括有隔板高效空气过滤器和无隔板高效空气过滤器，有隔板高效空气过滤器包括GK（有隔板高效空气过滤器），GKW（耐高温高效空气过滤器），GKA（耐高湿高效空气过滤器）；无隔板高效空气过滤器包括GKYW（组合式组合式高效空气过滤器），GKYS（无隔板高效空气过滤器），GKYC（液槽无隔板高效空气过滤器），GKYL（超低阻无隔板高效空气过滤器），GKYD（刀架式无隔板高效空气过滤器），GKUL（0.1um超高效空气过滤器）

在半导体芯片厂，特别是12英寸的晶圆厂，会使用化学过滤器，化学过滤器一般分为三种，除酸性气体（SO42-、F-、CL-、NO3-、CHCOO-、HCOO-等）、除碱性气体（NH3,NMP等）和除有机物（TVOC),祛除的气体不同选择的化学过滤材料也不相同。祛除气体的浓度不同化学过滤器的寿命也不相同。。。。。上海宣拓

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