1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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1.洁净实验室位置和环境的选择

洁净实验室在位置选择方面要遵从洁净等级的设计要求，应选择大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域和地段，要远离落叶和空气异味的场所，(如河边、食堂周围、动力区域等)，还要尽量避开振动或噪声干扰的区域。

选择实验室周围的位置、地形、环境时，要与精密设备、精密仪器、仪表等允许环境振动值进行分析权衡。

2.洁净实验室墙体围护的标准

洁净实验室的污染源一般主要是大气中含尘、含菌、尘粒和微生物以及实验人员的发尘、实验设备和实验 *** 作过程中的产尘等。因此建筑围护结构质量和建筑施工方法对保持和提高洁净实验室的标准具有重要意义。

洁净实验室的外围护结构如门窗、墙板、吊顶板、高效过滤器、电器灯具等方面要充分考虑其保温、隔热、防火、防潮、密闭性能好的要求，做到不产尘、无裂痕、可擦洗、耐潮湿，板缝平齐密封，压缝条平直缝隙小。地面则力求做到耐磨、耐冲击、耐火、耐侵蚀性好，不易产生静电，表面不易附着尘粒。

3.洁净实验室的整体布局设计

洁净实验室的平面和空间设计，应将洁净实验区和人员净化、设备材料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑实验 *** 作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。

实验室内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。

洁净室空气洁净度等级的检验，验收时应以动态条件下测试的尘粒数为依据。对于空气洁净度为5级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。

确定洁净实验室空气洁净度等级时，首先要满足实验内容和实验仪器设施对空气洁净度的要求，然后还要根据实验 *** 作步骤和实验程序布局综合考虑各个实验区域的不同净化等级要求，从而做到既满足净化要求又节约成本支出。

4.洁净实验室的空气净化调节系统

一般情况下，5级、6级洁净区控制温度为20℃～24℃，相对湿度为45%～65%7级、大于7级洁净区控制温度为18℃～28℃，相对湿度为50%～65%。对洁净室温、湿度无特殊要求时，温度应控制在18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%。

此外，空气气流速度、送风量和新风量要符合净化室实验设施和人员的要求。因为净化实验室是一个相对独立密闭的空间，在保持温度、湿度、空气流速流量的同时，还要采取措施补偿室内排风和保持室内正压（或负压）值所需的新鲜空气量。

导语：在我们的日常生活中，洁净室是不经常听到的，大家想象的洁净室，可能就是比较干净房子，但是洁净室与我们传统自己住的房子是有很大的区别的，洁净室是一个工业上、制造业上的一个车间，利用空气流动原理，将室内随时保持一个较为清洁的状态。洁净室在设计的时候，需要注意很多的问题，下面小编就为大家介绍一下洁净室设计的相关知识。

　　洁净室设计要点:

　　1.洁净室无尘室系统：

室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。

　　2.洁净度与换气次数:

房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。

3.结构:

为了保证气流几乎不受干扰，就必须进行结构设计，必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。

4.设计方案:

要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式，洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。

　　5.材料:

作为洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学性能是否稳定。

6.压力和气流:

为了保证房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。

7.辅助设备:

必要时还得安置一些辅助设备：如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能.

8.人和物的控制:

人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。

9.给排水和送风装置及电源:

根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。

洁净室装修与设计的要求

一、洁净室的平面布局

洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。

洁净室的平面布置可以有以下几种方式：

外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。

两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。

核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。

二、人身净化路线

为了在 *** 作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。

人净用房中更换洁净服的房间应予送风，并对入口侧等其他房间保持正压，对厕所、淋浴保持少许正压，而厕所、淋浴应保持负压。

三、物料净化路线

各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。

物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。

对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。

如果生产流水线很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。

在系统设计上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对洁净区应保持负压或零压，如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。

以上就是小编为大家介绍的关于洁净室设计的注意事项等知识的一个说明，大家都知道，在生产上面我们需要一个干燥、干净清洁的地方，洁净室就是这样一个地方，由于生产的东西不一样，所以对洁净室的设计要求是不一样的。洁净室不仅能够提供清洁，还需要保持清洁，可以将很多的颗粒排除在室外，小编的介绍就到这里结束了，希望可以帮助到大家。

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