2500平米的集成电路无尘车间，怎么做规划设计？

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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浙江省杭州市吉海半导体有限公司于2019年11月17日正式开工，是浙江省第一家大型半导体产业基地，也是浙江省继杭州市智能制造产业基地之后的又一重大投资项目。该项目总投资额达到120亿元，是浙江省政府大力发展半导体产业的重要举措，也是浙江省政府支持半导体产业发展的最新举措。

吉海半导体有限公司将以半导体封装测试、晶圆制造、芯片研发等为主，投资建设一系列先进的半导体设备，以及配套的研发、生产、检测、技术支持等设施，以实现半导体产业的全产业链建设。吉海半导体有限公司将以节能环保、智能制造等理念为指导，建设一个具有国际竞争力的半导体产业基地，为浙江省的半导体产业发展提供强有力的支撑。

随着科学技术的日新月异，电子产品及其生产技术也迅速发展，以集成电路为代表的微电子产品的更新换代尤为显著，平均2-3年即会更新一代产品。当今，以TFT-LCD为代表的平板显示器正在取代彩色显像管显示器，此外，计算机、通信、消费电子和汽车电子产品的迅速普及使得各种半导体元器件生产发展十分迅速。因此，十级洁净工程公司对电子洁净厂房的设计、建造必须适应这种快速发展的需要。

以集成电路芯片制造、TFT-LCD液晶显示屏生产为代表的电子产品生产洁净厂房，具有洁净度要求严格、面积大、能耗大、运行费用高的特点，这就对十级洁净工程公司的工艺设计提出了更高的要求。作为先导步骤，工艺设计需要在满足电子产品生产要求的前提下合理进行洁净厂房的生产布局，合理确定各种参数，尽量做到能量消耗少、运行费用低、生产效率高和建设投资少。同时，还需要合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的布置，满足电子产品洁净生产要求和生产工艺要求。此外，还应尽可能提升生产设备及物料运输的自动化水平，在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。

依据产品的生产特征和产能规划，选择各种生产设备的型号及数量是十级洁净工程公司进行工艺设计的首要任务。在目标产品和产能规模已经确定的前提下，需要根据工艺流程、设备的加工能力和使用效率计算出各个工艺环节所需的各种类型设备的台套数。以此为基础，进一步计算出生产所需的洁净区面积、员工人数以及水、电、气体的消耗量。

十级洁净工程公司生产设备的平面布局也是厂房工艺设计的重要内容。其形式一般有隧道式、开放式、岛形布置等。据调查表明，集成电路芯片制造一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂。目前，8英寸、12英寸芯片制造厂普遍采用“开放式洁净室加微环境”的方式，这种洁净室形式既可实现设备布置的灵活性，又能减少建设投资、降低能耗。

另外，由于电子产品更新换代极快，所以在电子工厂的实际生产中，在线维修及调试、边生产边增加设备的情况很多，因此在十级洁净工程建造及厂房工艺布局中，应根据具体情况，多方考虑，留出相应的运作空间。

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