三星半导体八大工艺

三星半导体八大工艺,第1张

三星半导体的八大工艺包括:1、热处理;2、光刻;3、金属化学气相沉积(MOCVD);4、电镀/电子束蒸镀(EBL) ;5、表面处理/封装 ;6、测试/可靠性测试 ;7 、切割/打样 ;8 、回收。

半导体氢钝化退火工艺是一种金属热处理工艺。指的是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度,改善切削加工性。消除残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向。细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷。准确的说,退火是一种对材料的热处理工艺,包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。

科纳米张家港化合物半导体研究所的工艺主要是涉及到半导体材料的制备、分析、测试和应用等方面。首先,在材料制备方面,采用原子层沉积(ALD)、溅射外延(PEALD)、化学气相沉积(CVD)、化学气相沉积(MOCVD)等技术,制备出高质量的半导体材料;其次,在材料分析方面,采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等技术,对半导体材料进行分析;再次,在材料测试方面,采用电子镜(EM)、能谱仪(SP)、高频测试仪(HPT)、光谱仪(SP)等技术对半导体材料进行测试;最后,在材料应用方面,采用热处理、激光处理等技术,将半导体材料应用于各种电子器件中。


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