无尘车间净化工程的流程是怎样的?

无尘车间净化工程的流程是怎样的?,第1张

01洁净室工程施工1、洁净室工程在撕膜前需进行一次全面性的检查检查项目包括:各通风管道、空调机设备、门窗等是否安装到位,并作好相关记录。另外要注意的是清洁和打胶必须同步进行,其顶棚、墙板安装后再撕膜。2、天花吊件制作安装:根据所确定的所有挂点,计算出所用吊筋(圆钢制作)的大小,根据挂点之间距离,确定主龙骨(C型钢制作)的型号,以保证天花荷载达到规范要求。严格控制吊筋与楼面的连接,确保垂直、不脱落,主龙骨及T型龙骨安装水平。02洁净室工程围房施工方法彩钢板的制作是在工厂内进行,通过先进的生产工艺控制,质量保证程度高。施工方法:就位准备:彩钢板是预制建筑板材,可短不可长,可窄不可宽。以小块组成大面,一次成活。只有保证每一块板位置准确,才能保证全部板材安装的质量和零配件的安装质量。连接可靠:彩钢板与天花龙骨的连接、板材与板材的连接、板材与配件的连接是保证板材安全使用的主要环节,必须认真完成每一点的连接,保证全面的可靠性。密封防漏:板材组成的天花,必须保证纵横缝搭接严密,接缝和外露连接点的密封可靠至关重要,只有保证每一线、每一点密封良好,才能保证全面质量。工程配合:配合天花开孔收边密封,以保证整个工程进度。03洁净室工程围隔墙板材的安装1、板材制作与天花板相同,根据施工图计算出所有墙板的尺寸及块数,预先在工厂加工好备用。待工地条件成熟立即运往工地。2、熟读图纸对墙板位置画线定位。3、根据所画图纸安装铝制地槽,铝制地槽与楼面连接采用膨胀螺丝。4、铝材配件的安装。对墙面与天花、墙面与地面、墙面之间转角安装弧形铝材,保证无死角,表面无螺丝。04洁净室工程门和窗的安装严格按照图纸要求进行安装,必须做到对缝准确,转角确保垂直度,密封度良好。

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗


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