1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

1必须遵循洁净空调相应的规范及要求

GB50073－2001《洁净厂房设计规范》、JGJ71－90《洁净室施工及验收规范》、GB50243－2002《通风与空调施工验收规范》、GB50333－2002《医院洁净手术部建筑技术规范》等是洁净方面的主要规范，规范里严格规定了洁净室材料的要求、构造与装饰的要求以及洁净室装饰表面质量要求等。必须充分领会设计意图，严格执行国家关于工程质量管理方面的文件精神，严谨组织施工才能保证质量。

2严格把好材料关

目前国内洁净室大多采用金属壁板装配式结构，其最大优点是：

（1）接缝严密，减少室内积尘环境，适用于高洁净度的房间；

（2）可以按照用户的需要设计墙面及房间形状，无论是八角形还是圆角形均不受板材尺寸的限制。

常见的有不锈钢结构、碳钢板结构及电解板结构、铝板及铝塑板结构，近年来随着材料工业的飞速发展，彩钢板的应用也越来越多。

洁净空调系统风管一般采用镀锌钢板加工。镀锌钢板应选用优质板，镀锌层标准适宜＞314g／m2，且应镀层均匀，无起壳，无氧化。吊架、加固框、连接螺栓、风管法兰、铆钉均应采用镀锌件，法兰垫料应采用有d性、不产尘、有一定强度的软橡胶或者乳胶海绵，风管的外保温可采用容重32K以上难燃PE板，以专用胶粘贴，不得使用玻璃棉等纤维制品。

洁净室地面也是保证室内洁净度的重要部位，其材料要求是防滑、防静电、耐磨、耐腐蚀、易清洁。常见洁净室地面有：现浇嵌铜条水磨石地面、塑胶地板、及橡胶地板（一般铺设前采用自流平材料平整地面）。

在材料采购过程中，必须按计划、按品种选用同种产品中有质量保证的制造商的产品。实物检查时还应注意材料规格、材料光洁度，板材还应检查平整度、边角方度、镀锌层的粘结度等。采购后的运输和存放过程中还应注意保持完好的包装，防潮、防撞击、防污染。

3合理安排施工顺序是保证洁净度的基础

合理的施工程序原则是：

“八个先后”，

“六个同时”。

即：先清理卫生后安装；先上部吊装后中间安装；先隔断后吊顶；先大设备进场后隔断封闭；先净化安装后工艺安装；内装修先上后下，先内后外；洁净室完成后进行地面处理；先调整后检测。“六个同时”是：设备组织与工程同时进行；辅配件生产与材料组织同时进行；空调管路安装与工艺管路安装同时进行；洁净系统工程与交货空调设备同时进行；洁净系统工程各专业同时试运转、同时调整检测；土建收尾工程与洁净安装部分同时进行。具体施工中，必须保证上道工序的成品、半成品不受损坏，不同专业之间施工交叉作业必须精诚合作，高度统一指挥。

装配式洁净系统的施工在各种主干管基本安装完成后，对室内地面、柱、墙、空间进行一次彻底清扫，达到清洁无尘方可开始。其流程分顶棚安装和墙板安装。

顶棚安装：现场准备－测量放线－顶棚开洞－支吊架龙骨安装、调整－顶棚安装、做护口安装－风口，灯具底板安装－灯具安装－撕膜、清洁、打胶－空吹、清洁－高效过滤器安装。

墙板安装：现场准备－测量放线－墙板龙骨安装－各专业预埋件－门窗、风淋室安装－撕膜、清洁、打胶－空吹清洁－回风百叶、余压阀安装。

4洁净风管的制作、搬运、安装是确保

洁净度的关键

许多施工员在施工中都会注意到洁净系统安装的特殊要求，即：安装部位清洁；系统安装清洁（塑料膜封口）；场地、安装人员着衣干净；选用不产尘的材料；接缝处应严密，防止漏风等。但仍有几点要注意：

接缝：不允许管道有横向接缝，纵向接缝也应尽量少，当底边小于等于800 mm时，底边也不许有纵向接缝；

咬口：应尽量采用联合角或转角咬口，6级以上的洁净风管不得使用按扣式咬口；

密封：所有咬口缝、法兰翻边及铆钉处必须涂密封胶防止漏风；各种密封垫严禁表面涂刷涂料；

加固筋：不许设在管内；

法兰：四角应设螺钉孔，孔距小于100mm，螺钉、螺母、垫片及铆钉均应镀锌；

测孔：管径大于500mm的应设清扫及各种测孔；存放：制作完成后用中性清洗液清洗，干燥后用塑料膜封口以待安装；

拆封：只允许在安装时拆开管道端口封膜，安装中间停顿时应再封好端口；

清洁：风管零部件安装时要清除表面的油污和尘土，并使用不易掉纤维的材料多次擦拭系统内表面；

漏风检查：系统安装后，保温前进行漏风检查。（1～5级系统按高压系统风管规定执行，6～9级系统按中压系统风管执行），可以用大于100W的低压照明灯进行漏光检测，低压系统每10米接缝漏光点不大于2处，每100米平均不大于16处为合格；中压系统每10米接缝漏光点不大于1处，每100米平均不大于8处为合格。

5对高效过滤器安装的要求

安装高效过滤器也是洁净室施工的关键。必须在系统试运转达12小时后再次清洁洁净室，方可现拆高效过滤器包装，外观检查后进行现场检漏（重点检查过滤器边框密封质量），然后做阻力调配。

6洁净室的压差控制是保证洁净度的重要条件

我国《洁净厂房设计规范》（GB50073－2001）中对洁净室的压差控制有如下规定：洁净室与周围的空间必须维持一定的压差，并按照生产工艺要求决定维持正压或负压差。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa。在考虑洁净室的压差控制时，国内外洁净室压差风量的确定，多数是采用房间换气次数来估算的，这就要求设计师和施工员对换气次数的概念要有足够的重视。洁净空调系统的换气次数最少在10次／h以上，甚至高达数百次。实际工程中往往因为建筑物的柱子、梁等凸出结构导致送、回风系统阻力过大，致使换气次数不能符合设计要求。假如采用非单向流的双层壁回风顶送风气流组织形式，这种情况更为明显。

7工程验收后，维护工作也要做好

洁净室的施工完成后，对洁净室的运行和管理也是非常重要的，要定期检查室内和设备，设备主要是监测，而室内项目除常规的室内顶棚送风天花（或高效送风口）和墙面回风口目测清洁度等必须监测的项目外，更重要的还应包括尘埃粒子数、细菌菌落数、送风风量、室内正（负）压等。日常管理必须保证洁净室正确运行，这样所制造的产品才不至于受到污染。这就要求从人员与材料的入场，到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施。必要时还应对维护人员进行培训。

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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