卓兴半导体3C固晶法则是什么?

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3C固晶法则分别指的是3个英文单词的首字母:Correction校正、Control控制、Continuity连续。分别对应的在固晶工艺中解决角度、速度、良率和固晶范围等问题需要用到的工艺方法。下面我详细介绍下这三个方法:

一是角度校正(Correction),包含两个部分:1、晶圆环校正,保证固晶机摆臂抓取晶圆时位置更准,抓取成功率更高;2、是晶圆校正,当晶圆被抓取之后通过动态角度调整,保证晶圆贴合姿态更正,位置误差更小。

二是压力控制(Control),贴合模组内置高精度直线和旋转运动,在芯片贴合的同时进行压力检测和控制,以保证每一个芯片都能以完美的力度贴合到基板对应位置,固晶良率达到99.99%以上。

三是连续固晶(Continuity),卓兴半导体创新双臂同步固晶模式,单位时间内比传统固晶机效率提高一倍。此外,卓兴半导体还有双臂6晶圆环混打设计,一次装夹完成RGB三色固晶,效率更高,单位时间内固晶更多。目前卓兴半导体固晶效率可以达到40K/H,高于市场平均水平。

光学校正出了问题,你需要重新校正。其实厂家在安装设备时会给你在电脑里备份光学校正数据的,就是为了防止客户随便修改光学校正数据导致失真。你可以联系厂家去校正,或者你自己来校正。具体办法就是画个最大幅面的方形,然后在黑纸上打方形,自己修改光学校正里的数据,最终使打出来的方形为正方形即可。

半导体封装设备目前比较主流的有卓兴半导体、新益昌、ASM等,其中卓兴半导体更符合问题中要求的高精度、高度度和高良率,他们总结并提出的3C固晶法则从Correction校正、Control控制和Continuity连续这三个层面改善和提高了固晶的精度、速度、良率,精度可以达到固晶位置误差<±10um、角度误差<0.5°,速度可以达到40K/H,良率可以达到99.99%。


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