这些设备大多是自动化设备,尤其是MOCVD和离子注入。控制部分是PLC+数字电路,非常复杂。其他的设备电路部分常见的是数字电路控制。但也不排除简单的PLC。
半导体行业SECS/GEM协议通讯平台相关软件包括但不限于:①.SECS/GEM协议SDK;②.SECS/GEM协议自动化系统EAP;③.SECS/GEM协议数据转发工具。其中SDK既可以帮助设备供应商为半导体设备快速开发的SECS/GEM协议接口,也可以帮助半导体制造企业为工厂数据采集控制系统快速开发SECS/GEM协议接口。SDK例如北京亚控科技提供的接口库产品KingExGem,可以为设备和主机提供便利的各种开发语言接口。亚控科技KingIOServerSecsGem、KingSecsGemTransmitter等产品都是可以帮助半导体制造企业提供解决方案。实力碾压欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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