完后就是按照这样的过程周而复始的自动生产了,但如果是说整个机器的控制和参数的介绍那恐怕就不是那么简单的了,除非你去ASM公司造机器,否则你也还难理解到个中祥细情节和原理的!!
自动固晶机的原理具体的是:由固晶机的邦头从基板位置运动到蓝膜位置,晶圆放置在蓝膜上,邦头定位后吸嘴向下运动,向上运动顶起晶圆。在拾取晶圆后邦头运动回基板位置,吸嘴向下贴合晶圆,然后邦头再次运动到蓝膜位置⌄这样就是一个完整的贴合过程。目前行业里比较流行的是双臂固晶,尤其是卓兴半导体的双臂单板同步固晶和交替固晶,极大提高了固晶效率,另外他们还推出了像素固晶机,采用三摆臂固晶,一次完成一个像素的晶圆贴合(RGB)效率更快,固晶精度更高,非常颠覆性的固晶模式了。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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