半导体行业里的“固晶机”是做什么的?大概原理又是什么呢?

半导体行业里的“固晶机”是做什么的?大概原理又是什么呢?,第1张

最简单的来讲就是视像定位与机器结构的动作配合,机器的像机就像它的眼睛,是获得生产信息的窗口,然后这些信息又被PC或是Firmware 部分进行数据处理计算,再由CPU控制马达机构部分进行运作,同时伺服反馈系统也因是锁相环系统可随时跟踪控制运行的状况,然后完成一个Cycle,有的还有Post bond的检测,这就还会有一个视像信号的处理过程和计算,告知计算需求的结果与实际机器生产出来结果的对比,可以以此为参考而做些相应的调整或是校正等!

完后就是按照这样的过程周而复始的自动生产了,但如果是说整个机器的控制和参数的介绍那恐怕就不是那么简单的了,除非你去ASM公司造机器,否则你也还难理解到个中祥细情节和原理的!!

自动固晶机的原理具体的是:由固晶机的邦头从基板位置运动到蓝膜位置,晶圆放置在蓝膜上,邦头定位后吸嘴向下运动,向上运动顶起晶圆。在拾取晶圆后邦头运动回基板位置,吸嘴向下贴合晶圆,然后邦头再次运动到蓝膜位置⌄这样就是一个完整的贴合过程。目前行业里比较流行的是双臂固晶,尤其是卓兴半导体的双臂单板同步固晶和交替固晶,极大提高了固晶效率,另外他们还推出了像素固晶机,采用三摆臂固晶,一次完成一个像素的晶圆贴合(RGB)效率更快,固晶精度更高,非常颠覆性的固晶模式了。


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