是不是半导体必须要用密封圈？

半导体设备，半导体材料以及IC封测产业包括晶圆制造，晶圆传输，蚀刻，CMP，CVD等相关设备工艺需要使用超高纯，低污染，低渗透，耐腐蚀，耐化学介质，耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。包括FFKM全氟橡胶，FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。其中典型应用包括阀门O型圈，门密封，腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。

FFKM和EPDM没有可比性，因为性能大不相同，应用部位也不同，这两种橡胶在汽车上都有应用。

FFKM是全氟橡胶，其优点如下：

耐化学品腐蚀性特别好，大约能耐1600多种雪花物质。

d性非常好，压缩变形小。

耐高温特别好，能在320°左右的温度中长期使用。

耐真空性能好，高档汽车的发动机密封会用到。

FFKM常常会被用在半导体行业、航天航空、精密仪器密封等；FFKM的价格特别高，一般的FFKM价格在每公斤200元以上，也有更高的。

EPDM是三元乙丙橡胶，其优点如下：

耐老化性能好，耐臭氧耐天候性比较好。

耐腐蚀性比较好，但是和FFKM耐腐蚀比相差很远。

电绝缘性能比较好。

三元乙丙橡胶还具有低密度高填充性，能有效降低制品成本。

EPDM橡胶经常会用于制造汽车密封条，其成本也比较低，每公斤在20元左右，也有比较高的。

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