真空泵的主要参数有哪些

真空泵的主要参数：

（1）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。

（2）残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力，单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。

（3）抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。

（4）起动压力：真空泵开始工作时的压力。

Micron 原来是长度单位 ，但是真空方面有些用它来代表汞住。

1 micron =10-3 mm

75Micron =9.999Pa

极限真空度没有达到有很多原因，你的泵抽速不到3L/S ，所以不能抽太大的容器，另外，漏气，缺油也都不能达到预期的真空度

---