半导体工艺废气如何高效处理?

半导体工艺废气如何高效处理?,第1张

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备,简称“RTO设备”,是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气,虽然采用高温700℃的温度进行废气处理,但其实消耗的能源并不多,这是因为设备能够将热能回收利用,大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法,通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后,再用直接燃烧法进行销毁,废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧,它是把VOCs可燃组分直接烧掉,因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气;多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中,只要浓度值适宜,也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限,可以混入空气后燃烧;如果可燃组分的浓度低于燃烧下限,则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等,维持燃烧。

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美的风管机开机密码一般是0001和0002。

美的空调  ,隶属于美的集团,是集家用、商用空调产品开发、生产、服务于一体的经营平台。

美的集团(SZ.000333)是一家集消费电器、暖通空调、机器人与自动化系统、智能供应链、芯片产业、电梯产业的科技集团。

1968年成立于中国顺德,现总部位于广东顺德北滘新城内,在世界范围内拥有约200家子公司、60多个海外分支机构及10个战略业务单位,同时为德国库卡集团最主要股东(约95%)。

美的集团的业务包括以厨房家电、冰箱、洗衣机及各类小家电为主的消费电器业务;以家用空调、中央空调等供暖及通风系统为主的暖通空调业务;以德国库卡集团、美的机器人公司等为核心的机器人及工业自动化系统业务;以安得智联为集成解决方案服务平台的智能供应链业务;美仁半导体公司的芯片业务。

2013年9月18日,美的集团在深交所上市   。

2015年7月4日,美的集团旗下的全球最大的空调压缩机企业GMCC美芝公司与威灵电机公司整合为美的“部品事业部” 。

2016年,美的集团首次进入《财富》世界500强名单第481位。

2020年位列第307位 。

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2020年12月11日,收购菱王电梯,正式进军电梯业务。

12月24日,收购泰国日立压缩机工厂,布局全球产业。

美的集团主要家电产品有家用空调、商用空调、大型中央空调、冰箱、吸尘器、取暖器、电水壶、烤箱、抽油烟机、净水设备、空气清新机、加湿器、灶具、消毒柜、照明等和空调压缩机、冰箱压缩机、电机、磁控管、变压器等家电配件产品。

现拥有中国最完整的空调产业链、冰箱产业链、洗衣机产业链、微波炉产业链和洗碗机产业链。

拥有中国最完整的小家电产品群和厨房家电产品群。

在全球设有60多个海外分支机构,产品远销200多个国家和地区。


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