2500平米的集成电路无尘车间,怎么做规划设计?

2500平米的集成电路无尘车间,怎么做规划设计?,第1张

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求,相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点,因而可以选择将前后区分开,前区为人员 *** 作区(硅片暴露区),后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少,可以减少整个系统的循环风量,降低能耗及工程造价。

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集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司

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为无尘(洁净)室提供半导体设备,精密仪器设备,SMT/MOCVD 设备,TFT-LCD 自动化设备,AM-OLED/LTPS及光伏,实验室,光电及机电设备,光学仪器,液晶等离子,工厂企业,集成电路,机器人产线,自动化轨道等客户提供搬运,悬浮气垫平移,搬移,高空吊装,安装服务,move in(out) 特殊装卸装箱掏柜,定位,相关木箱制作及恒温恒湿防震气垫车综合运输服务。

特色服务: 在高端电镜;冷冻电镜,球差电镜,扫描电镜,透射电镜及扫描电子显微镜,聚焦离子束显微镜,在X射线,核磁共振屏蔽,XRD防护室建设,实验室设备搬运,安装,运输,拆装,组合,移位,调试装机,消音消磁,除震消噪及精密仪器的防(减)震台安装,制作均有一套成熟的方案及作业团队。

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1、卸车吊装(吊挂):叉车(3.5T-28T及专用掏箱卸车工具)设备高空吊装吊车(35T-500T专用进口吊带卸扣及吊装杆)

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4、施工搬运工具:大小型吊装专用平台(吊笼),防静电304不锈钢钢板,无尘室专用悬浮气垫及各种气浮设备和专用工具

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