半导体静电消除芯片原理

半导体静电消除芯片原理,第1张

通过升降导电橡胶垫和半导体芯片接触将半导体芯片上的静电电荷转移接地消除。半导体制造中特别容易产生静电释放,静电释放(ESD)是一种形式的玷污,可以通过升降导电橡胶垫和半导体芯片接触将半导体芯片上的静电电荷转移接地消除,达到快速消除半导体芯片上的静电的作用。

华硕释放静电是几秒:2秒

静电释放(ESD)是一种形式的玷污,它是静电荷从一个物体向另一个物体未经控制地转移,可能损坏微芯片。ESD产生于两种不同静电势的材料接触或摩擦称为静电。带过剩负电荷的原子被相邻的带正电荷的原子吸引。这种由吸引产生的电流泄放电压可以高达几万伏。

半导体制造中特别容易产生静电释放,因为硅片加工保持在较低的温度中,经典条件为40%±10%相对湿度(RH)。这种条件容易使较高级别的静电荷生成。虽然增加相对湿度可以减少静电生成,但是也会增加侵蚀带来的玷污,因而这种方法并不实用。

半导体的生产是有重污染的。首先,半导体工厂中会有大量的酸性气体(这些气体来自蚀刻和清洗晶圆等)。其次,由于光刻胶溶液、显影液等用量较大。用在半导体制造过程中,这些溶液主要是有机物质,所以在蚀刻,清洗、薄膜生长等过程中。将使用大量的有机溶剂,包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳、二氯化碳F2等。其中,苯是一种剧毒的一级致癌物。为了防止这些污染伤害员工和污染环境,半导体工厂需要采取极其严格的污染预防措施,包括工作场所空气的实时处理、生产废物的妥善处理等。可以说,如果污染治理的任何一个环节出现问题,都有可能对员工身体造成很大的伤害,也有可能对周围环境造成很大的污染。


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