中微刻蚀机深沟刻蚀进展如何

0.6。

中微刻蚀机深沟刻蚀目前进展已实现了60%的覆盖率，中微公司在接受机构调研时表示，公司目前刻蚀设备的零部件国产化率大约60%，MOCVD设备的零部件国产化率大约80%。

刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，产地为英国，于2012年5月14日启用。

2022年5月。今年5月，中微3纳米刻蚀机正式宣布刻蚀机技术已经达到了3纳米并且进入量产阶段。作为生产芯片的核心设备，此消息一出，其他国家纷纷与我国签订订单，只为订购我国的3纳米刻蚀机。

自主可控。

在2020年的时候，中微公司就已经推出了5nm的刻蚀机，这也得到了芯片制造的巨头公司台积电、三星等的大量订购。目前情况下，中微公司已经成为全球刻蚀机产业的中流砥柱。从制程设备到系统，全部都是中微公司独立自主制作。

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供具竞争力的高端设备和高质量的服务。

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