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山东有研半导体材料有限公司。这句话出自山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华。总工程师肖清华说:“我们看到一个小小方块里面一个小方块,按版图来讲,它其实就是设计的一个单独的芯片,这里面一个小方块会集成十几亿个器件。”方块电阻是一种描述半导体导电性能的方法。设一块长度、宽度和厚度分别为L、W、d,电阻率为ρ的半导体薄片,电阻的计算式为R=ρ(L/dW)=(ρ/d)(L/W),可以理解为,薄片的电阻正比于长度比宽度,比例系数为ρ/d。这个比例系数就是方块电阻,用Rs表示,Rs=ρ/d.利用方块电阻式,电阻计算式可以写成R=Rs(L/W),当L=W时,R=Rs,也就是说,方块电阻实际上表示的是一个正方形薄层边到边的电阻,而且它与正方形的边长无关,只与材料和厚度有关。方块电阻是用来评价某块材料的导电能力的参数,往往用于半导体芯片制造。所谓方块,就是长和宽相等,厚度则视被测样品而异。方块电阻值乘以所测样品的厚度就得到它的电阻率,这是评价半导体材料内扩散浓度(载流子浓度)的重要参数。通常用四探针仪器测量。
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