半导体工艺废气如何处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

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酸碱废气是电子、化工、电镀、医药等行业在机械加工过程中产生的无机废气，直接排放会对人体健康及生态环境造成危害。那么，酸碱废气怎么处理？格林斯达环保公司为您介绍几种主要有效的酸碱废气处理方法如下：

酸碱废气如何处理？

酸碱废气处理在工业废气处理中是比较常使用的废气处理。酸性废气的成分一般是硫化氢、氯气、二氧化碳、硫酸、盐酸、硝酸等酸性气体；碱性废气是氢氧化钠、氢氧化钙、氢氧化碳、氨气这些碱性成分，酸碱废气处理的过程中需要加入酸性药剂或者碱性药剂跟要处理的废气对象进行酸碱中和化学反应,达到废气净化的效果。

酸碱废气治理方法有哪些？

酸碱废气治理方法有两种，一种是使用碱液对酸性废气进行处理，一种是使用酸液对碱性废气进行处理。

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