pcw是工艺冷却水系统。
工艺冷却水系统(PCW),亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备,简单来说就是工艺设备的空调系统。
PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统,冷冻水由冷冻机提供,冷冻水与冷却水进行热交换,使冷却水降温从而降低设备的温度。
从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温,通过过滤器后送至生产线设备,再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。
工艺冷却水系统的注意事项:
冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。
PCW在半导体厂是个非常重要的系统,出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失,系统自动化程度高,对控制要求较高,主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。
现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从最初的硅圆片上线加工到最后芯片封装销售,整个过程将近上百道工序,任何一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。
在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来巨大的经济损失。
电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。
PCWS:制程冷却水供水暖通名词解释英文缩写Absolute Filter,绝对过滤器 早期国外某公司为有隔板高效过滤器起的商品名,对应过滤效率99.97%(0.3mm DOP)。 AC fine (Air Cleaner Test Dust, fine),AC细灰 美国规定用于过滤与除尘设备性能试验的标准粉尘,除中国和日本之外各国通用。该粉尘取自美国亚利桑那荒漠地区,俗称Arizona Road Dust。 在AC细灰中掺入规定量的短纤维和碳黑,就成了过滤器试验常用的ASHRAE标准粉尘。 国际标准化组织ISO规定用AC细灰测量汽车滤清器的过滤效果。 Aerosol,气溶胶 固体或液体颗粒物与气体形成的一种相对稳定的悬浮体系。 国际上,搞过滤理论的人多数参与气溶胶学会的活动,但搞过滤应用的人更喜欢在暖通空调行业扎堆儿。 VOCs(Volatile Organic Compounds),挥发性有机化合物 空调行业流行语,指空气中的分子污染物。 搞集成电路的人们管分子污染物叫AMC。 Ventilation Filter 泛指一般通风用过滤器,以区别洁净室用高效过滤器。有时也称Ashrae Filter。 Van de Waals Force,范德瓦尔斯力 分子与分子,分子团与分子团表面间的一种引力包括取向力、诱导力、色散力。粉尘粘在过滤介质上,主要靠的是范德瓦尔斯力。活性炭过滤器吸附化学污染物时,靠的也是范德瓦尔斯力。 范德瓦尔斯有时被译为“范德华”。 ULPA (Ultra Low Penetration Air) Filter 对0.1~0.2mm粒子过滤效率≥99.999%的过滤器(美国)。 对MPPS效率≥99.9995%的过滤器(欧洲)。 对0.12mm粒子过滤效率≥99.999%的过滤器(美国早期)。 ULPA的汉语译名为“超高效过滤器”、“甚高效过滤器”。 Synthetic Media 化学纤维滤材,有些地区和行业称其为合成纤维。 Sick Building Syndrome,建筑致病症状 十多年前暖通界热门题目。室内空气差劲经常被认为是致病元凶。 Resistance 过滤器阻力。有时也称Pressure Drop,Differential Pressure,DP。Pulse-jet Filter,自洁式过滤器 带有压缩空气脉冲反吹清灰装置的过滤器和除尘器。 PTFE 聚四氟乙烯 在过滤行业,PTFE滤材指用驻极体聚四氟乙烯纤维制成的高效过滤材料。PTFE滤材是是一种新兴过滤材料,它没有微量挥发物,强度好,目前的缺点是价格高。 Pre-filter,预过滤器 对下一级过滤器起保护作用的过滤器。预过滤器可以有各种形式和效率规格。由于中央空调系统中的初级过滤器往往效率较低,“预过滤器”常与粗过滤器混淆。 PP (Polypropylene),聚丙烯,丙纶 在过滤行业,常指带静电(驻极体)的超细聚丙烯纤维过滤材料。 PE(Polyester),聚酯 在过滤行业,指聚酯类化学纤维,例如涤纶纤维。 Particle Efficiency,计数效率 用粒子计数器测量的过滤器效率,见“一般通风用过滤器试验方法”。 AFI (Air Filter Institute),美国空气过滤研究所 过滤效率的试验方法计重法和比色法首先由AFI使用,有人称AFI效率。若见到“AFI效率”,你要自己判别是计重效率(Arrestance)还是比色效率(Dust-spot)。 AHU (Air Handling Unit),中央空调器 中央空调是最经常见到空气过滤器的地方。Air Filter,空气过滤器 用在中央空调和洁净室时,称为空气过滤器;用在活塞发动机和小型空压机上,它叫空气滤清器。 AMC(Airborne Molecular Contaminant),气载分子污染物 半导体制造业对分子污染物的称呼。 Arrestance,计重效率 对低效率过滤器采用计重法得出的效率,见“一般通风用过滤器试验方法”。 ASHRAE Efficiency 用美国采暖、制冷与空调工程师协会标准ASHRAE 52.1规定方法测出的效率。一般指的是比色法(dust-spot)效率,有时也称NBS效率、AFI效率。 β值 描述液体过滤材料和液体过滤器过滤效果的一个常用参数。β值也称过滤比。b值是透过率的倒数,与过滤效率的关系为:过滤效率 = 1 – 1/β β5 = 200,表示粒径为5mm的颗粒,200个中有一个透过。Cellulose Media,木浆滤纸 以木质纤维(木浆)为主要原料的过滤纸。木浆滤纸是制作滤清器的最常见过滤材料。“木浆滤纸”让人觉得太普通,因此经常有些令人莫名其妙的替代词。 Chemical Filter,化学过滤器 在空调领域,化学过滤器一般指的就是活性炭过滤器。 CNC(Condensation Nucleus Counter) 凝结核计数器 以微小粉尘为核,凝结了其它物质,使颗粒增大,仪器就可以检测到它。在过滤器的试验中CNC可用于高效过滤器的扫描试验、滤材的检测。 Deep-Pleat 对传统有隔板过滤器的习惯称呼。 DOP 邻苯二甲酸二辛酯 DOP为塑料工业一种常用增塑剂,也是一种常见清洗剂。 用0.3mm的DOP液滴做粒子,测量高效过滤器得出的过滤效率称为“DOP效率”。见“高效过滤器试验方法”。 Dust-Spot,比色法 多年来国际流行的,对一般通风用过滤器的测试方法。见“一般通风用过滤器试验方法”。FFU (Fan Filter Unit) 自带风机的高效过滤单元。当代集成电路生产中高洁净度厂房流行过滤装置。尚未见到大家都满意的译名。“有源过滤单元”,“风机过滤单元”,你觉得这些词儿如何? Fiberglass,玻璃纤维 常见过滤材料。 G,F,H,U 欧洲对过滤器的分类代号,用的是德语字头。G代表Grob,F代表Fein,H为HEPA,U为ULPA。 GMP (Good Manufacture Practice),药品生产质量管理规范 GMP是制药厂必须执行的强制性标准。 HEPA (High Efficiency Particulate Air) Filter,高效过滤器 对0.3mm尘埃粒子过滤效率≥99.97%,并且经过规定方法检验合格的过滤器。 家用电器中的HEPA是一般指用HEPA滤纸制作的过滤器。 HEPA Diffuser,高效过滤风口 装有高效过滤器的非均匀流洁净室送风装置。 HEPA Panel 洁净室用无隔板高效过滤器的习惯叫法。 IAQ (Indoor Air Quality),室内空气品质 暖通业当今时髦话题,过滤器商家炒作热点。 MPPS (Most Penetratiable Particulate Size),最易穿透粒径 测量过滤器对最难过滤颗粒物过滤效率的一种扫描测试方法。暂译“最易穿透粒径法”。对于洁净室末端HEPA与ULPA过滤器,该方法已经成为主要测试方法。见“高效过滤器试验方法”。 Mini-Pleat 无隔板过滤器的习惯称呼。有时也称为Close-pleated。 NBS (National Bureau of Standard),美国国家标准局 早期的美国国家标准局曾将AFI的计重法和比色法定为国家标准。所以,对应这两种方法的过滤效率也称NBS效率。分享到搜狐微博欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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