半导体车间都是无尘车间吗

半导体车间都是无尘车间吗,第1张

半导体车间是无尘车间

电子制造业无尘车间洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。

其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。

一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。

无尘室温湿度控制方法:

1、无尘室温湿度维护管理。

①无尘室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。

②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

这是不同功能性的需要!

无尘净化车间,只是根据净化等级将空间内空气中的尘埃和漂浮物过滤掉(或达到目标范围内),并没有其他功能和作用;

而恒温恒温功能则是为了将空间的空气温度和相对湿度控制在需要的目标范围内,从而达到产 品的特定生产条件或储存条件。

两者没有任何冲突的地方,只是因为条件需要。


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