半导体工艺废气如何处理有效果？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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发动机排气管防火可以加装汽车排气管防火罩。

汽车排气管防火罩是一种安装在机动车排气管后，允许排气流通过，且阻止排气流内的火焰和火星喷出的安全防火、阻火装置。

防火罩一般包括罩顶、罩围和罩裙三部分。罩顶装有用石墨等膨胀材料制作而成的散热片，散热片上设有气孔，散热片受热膨胀后，气孔自动封闭，使外界空气无法从气孔进入防火罩内，由此将燃烧面积控制在一定范围内，阻止火势快速蔓延。

汽车防火罩是保障国家重点防火单位和一切运输车辆在易燃易爆区域必配的安全防火重要产品。适用于易燃易爆重点防火单位及仓库货场、油田、林区、煤矿、石油化工液化气厂、造纸厂、飞机场等禁火区域。

该产品安装非常方便快捷，只需将口径匹配的规格产品的带有夹紧箍的开口一端套在相应机动车排气管上，然后拧紧夹紧箍两边的螺母即可。

汽车排气管隔热罩：适用范围

可拆卸式保温套（保温被、衣）是目前高档的管道、设备保温材料，广泛应用于石油化工、化学工程、纺丝、冶金、电力、建筑、窑炉、造纸、制药、船舶、轮胎等领域的热力设备和各种管道、暖通空调及制冷装置。它适用于各种管道、设备绝热保温，是理想的管道设备保温材料！

如管道、弯头、法兰、阀门、视镜、三通、流量计、液位计、压力表、化学反应器、实验室仪器、设备、火电核电汽轮机组、封头、泵、钢铁厂等高温环境下的仪表箱、热交换器、压缩机、柴油机、燃气机、发动机、空气机及其它异型件等。

半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

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