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TVOC常用的检测方法有非分散红外法、气相色谱法、纳氏试剂比色法、离子选择电极法、次氯酸钠-水杨酸分光光度法等等。TVOC检测仪原理有PID,因为这种检测原理的优点明显,一般都是用这中检测原理的居多。TVOC检测仪厂家品牌国产的有安帕尔、科斯特、特安斯等等;进口品牌有阿库特、英思科、霍尼韦尔等等。在半导体芯片厂,特别是12英寸的晶圆厂,会使用化学过滤器,化学过滤器一般分为三种,除酸性气体(SO42-、F-、CL-、NO3-、CHCOO-、HCOO-等)、除碱性气体(NH3,NMP等)和除有机物(TVOC),祛除的气体不同选择的化学过滤材料也不相同。祛除气体的浓度不同化学过滤器的寿命也不相同。。。。。上海宣拓
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