迁移率单位换算

迁移率单位换算,第1张

迁移率单位换算:MOS管饱和区电流公式是Ids=0.5*u*Cox*W/L*(Vgs-Vth)^2,算的时候注意单位统一,单位面积电容公式是Cox=ε(Sio2)/tox,其中ε(Sio2)的是10^-10F/m数量级

迁移率是指载流子(电子和空穴)在单位电场作用下的平均漂移速度,即载流子在电场作用下运动速度的快慢的量度,运动得越快,迁移率越大;运动得慢,迁移率小。同一种半导体材料中,载流子类型不同,迁移率不同,一般是电子的迁移率高于空穴。

技术应用

普通半导体材料的迁移率通常为102—106厘米2/伏·秒。通过调制掺杂技术制造的调制掺杂异质结迁移率可达到106厘米2/伏·秒以上。迁移率是表征半导体的一个重要参数。迁移率越大,器件的运行速度越快,截止频率就越高。砷化镓的电子有效质量比硅的小得多,因此砷化镓被用来制作高频器件。

阈值电压和以下几个因素有关:栅电极材料类型,栅氧化层厚度,衬底掺杂浓度,栅氧化层层中的电荷密度等相关,一般工艺中N/P MOS的栅氧化层厚度tox都是相同的,栅电极材料类型也相同,栅氧化层层中的电荷密度也相同,但是衬底浓度却不一样,NMOS直接做在Psub外延P-epi上面,而PMOS 做在P-epi的NWELL上面,所以NWELL的杂志浓度比P-epi跟大一些,衬底浓度越大,对应MOS管的阈值电压也越大,所以一般PMOS的阈值电压都要比NMOS要更大一些。


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