2. burst vi. n. 突然发生，爆裂
3. dispose vi. 除掉；处置；解决；处理(of)
4. blast n. 爆炸；气流 vi. 炸，炸掉
5. consume v. 消耗，耗尽
6. split v. 劈开；割裂；分裂 a. 裂开的
7. spit v. 吐(唾液等)；唾弃
8. spill v. 溢出，溅出，倒出
9. slip v. 滑动，滑落；忽略
10. slide v. 滑动，滑落 n. 滑动；滑面；幻灯片
11. bacteria n. 细菌
12. breed n. 种，品种 v. 繁殖，产仔
13. budget n. 预算 v. 编预算，作安排
14. candidate n. 候选人
15. campus n. 校园
16. liberal a. 慷慨的；丰富的；自由的
17. transform v. 转变，变革；变换
18. transmit v. 传播，播送；传递
19. transplant v. 移植
20. transport vat. 运输，运送 n. 运输，运输工具
21. shift v. 转移；转动；转变
22. vary v. 变化，改变；使多样化
23. vanish vi. 消灭，不见（记：“瘟神”消失不见）
24. swallow v. 吞下，咽下 n. 燕子
25. suspicion n. 怀疑，疑心
26. suspicious a. 怀疑的，可疑的
27. mild a. 温暖的，暖和的；温柔的，味淡的
28. tender a. 温柔的；脆弱的
29. nuisance n. 损害，妨害，讨厌(的人或事物)（记：“牛绅士”——>让人讨厌）
30. insignificant a. 无意义的，无足轻重的；无价值的
31. accelerate vt. 加速，促进
32. absolute a. 绝对的，无条件的；完全的
33. boundary n. 分界线，边界
34. brake n. 刹车，制动器 v. 刹住(车)
35. catalog n. 目录(册) v. 编目
36. vague a. 模糊的，不明确的
37. vain n. 徒劳，白费
38. extinct a. 绝灭的，熄灭的
39. extraordinary a. 不平常的，特别的，非凡的（记：新概念3 的passage2里出现过的）
40. extreme a. 极度的，极端的 n. 极端，过分
41. agent n. 代理人，代理商；动因，原因
42. alcohol n. 含酒精的饮料，酒精
43. appeal n. /vi. 呼吁，恳求
44. appreciate vt. 重视，赏识，欣赏
45. approve v. 赞成，同意，批准
46. stimulate vt. 刺激，激励
47. acquire vt. 取得，获得；学到
48. accomplish vt . 完成，到达；实行
49. network n. 网状物；广播网，电视网；网络
50. tide n. 潮汐；潮流
51. tidy a. 整洁的，整齐的
52. trace vt. 追踪，找到 n. 痕迹，踪迹
53. torture n. /vt. 拷打，折磨（记：“讨吃的”就会受到别人的折磨和拷打= =）
54. wander vi. 漫游，闲逛
55. wax n. 蜡
56. weave v. 织，编
57. preserve v. 保护，保存，保持，维持
61. abuse v. 滥用，虐待；谩骂
62. academic a. 学术的；高等院校的；研究院的
63. academy n. (高等)专科院校；学会
64. battery n. 电池(组)
65. barrier n. 障碍；棚栏
66. cargo n. (船、飞机等装载的)货物
67. career n. 生涯，职业
68. vessel n. 船舶；容器，器皿；血管
69. vertical a. 垂直的
70. oblige v. 迫使，责成；使感激
71. obscure a. 阴暗，模糊
72. extent n. 程度，范围，大小，限度
73. exterior n. 外部，外表 a. 外部的，外表的
74. external a. 外部的，外表的，外面的
75. petrol n. 汽油
76. petroleum n. 石油（记：一直搞错的两个单词：petrol &petroleum）
77. delay vt. /n. 推迟，延误，耽搁
78. decay vi. 腐烂，腐朽（记：近义词“rotten”）
79. decent a. 像样的，体面的
80. route n. 路；路线；航线
81. ruin v. 毁坏，破坏 n. 毁灭，[pl. ]废墟ruins
82. sake n. 缘故，理由
83. satellite n. 卫星
84. scale n. 大小，规模；等级；刻度
85. temple n. 庙宇
86. tedious a. 乏味道，单调的，
87. tend vi. 易于，趋向
88. tendency n. 趋向，趋势
89. ultimate a. 极端的，最大的，最终的 n. 极端
90. undergo v. 经历，遭受
91. abundant a. 丰富的，充裕的，大量的
92. adopt v. 收养；采用；采纳
93. adapt vi. 适应，适合；改编，改写 vt. 使适应
94. bachelor n. 学士，学士学位；单身汉
95. casual a. 偶然的，碰巧的；临时的；非正式的
96. trap n. 陷阱，圈套 v. 设陷阱捕捉
97. vacant a. 空的，未占用的
98. vacuum n. 真空，真空吸尘器
99. oral a. 口头的，口述的，口的
100. optics n. (单、复数同形)光学
101. organ n. 器官，风琴
102. excess n. 过分，过量，过剩
103. expel v. 驱逐，开除，赶出
104. expend v. 消费
105. expenditure n. 支出，消费；经费
106. expense n. 开销，费用
107. expensive a. 花钱多的；价格高贵的
108. expand v. 扩大，扩张；展开，膨胀
109. expansion n. 扩大，扩充；发展，膨胀
110. private a. 私人的，个人的
111. individual a. 个别的，单独的 n. 个人，个体
112. personal a. 个人的，私人的；亲自的
114. personnel n. [总称] 人员，员工；人事部门
115. the Pacific Ocean 太平洋
116. the Atlantic Ocean 大西洋
117. the Arctic Ocean 北冰洋
118. the Antarctic Ocean 南冰洋
119. grant vt. 授予，同意，准予
119. grand a. 宏伟大，壮丽的，重大的
120. invade v. 侵入，侵略，侵袭
121. acid n. 酸，酸性物质 a. 酸的；尖刻的
122. acknowledge v. 承认；致谢
123. balcony n. 阳台
124. calculate vt. 计算，核算
125. calendar n. 日历，月历
126. optimistic a. 乐观
127. optional a. 可以任选的，非强制的
128. outstanding a. 杰出的，突出的，显著的
129. export n. 出口(物) v. 出口，输出
130. import n. 进口(物) v. 进口，输入
131. impose vt. 把. . . 加强(on)；采用，利用
132. religion n. 宗教，宗教信仰
133. religious a. 宗教的
134. victim n. 牺牲品，受害者
135. video n. 电视，视频 a. 电视的，录像的
136. videotape n. 录像磁带 v. 把. . . 录在录像带上
137. offend v. 冒犯，触犯
138. bother v. 打搅，麻烦
139. interfere v. 干涉，干扰，妨碍
140. internal a. 内部的，国内的
141. beforehand ad. 预先，事先
142. racial a. 人种的种族的
143. radiation n. 放射物，辐射
144. radical a. 根本的；激进的
145. range n. 幅度，范围 v. (在某范围内)变动
146. wonder n. 惊奇，奇迹 v. 想知道，对. . . 感到疑惑
147. isolate vt. 使隔离，使孤立
148. issue n. 问题，争论点；发行，(报刊)一期
149. hollow a. 空的，中空的，空虚道
150. hook n. 钩 vt. 钩住
151. adequate a. 适当地；足够
152. adhere vi. 粘附，附着；遵守，坚持
153. ban vt. 取缔，禁止
154. capture vt. 俘虏，捕获
155. valid a. 有效的，有根据的；正当的
156. valley n. 山谷，峡谷
157. consistent a. 坚固定；一致的，始终如一的
158. continuous a. 继续的，连续(不断)的
159. continual a. 不断地，频繁的
160. explode v. 爆炸；爆发；激增
161. exploit v. 剥削；利用，开采
162. explore v. 勘探
163. explosion n. 爆炸；爆发；激增
164. explosive a. 爆炸的；极易引起争论的
165. remote a. 遥远的，偏僻的
166. removal n. 除去，消除
167. render vt. 使得，致使
167. render 解释比较长，可要仔细体会啊！（记：???）
168. precaution n. 预防，防备，警惕
169. idle a. 懒散的，无所事事的
170. identify vt. 认出，鉴定
171. identify n. 身份；个性，特性
172. poverty n. 贫穷
173. resistant a. (to) 抵抗的，抗. . . 的，耐. . . 的
174. resolve vt. 解决；决定，决意
175. barrel n. 桶
176. bargain n. 便宜货 vi. 讨价还价
177. coarse a. 粗的，粗糙的，粗劣的
178. coach n. 教练；长途公共汽车
179. code n. 准则，法规，密码
180. coil n. 线圈 v. 卷，盘绕
181. adult n. 成年人
182. advertise v. 为. . . 做广告
183. advertisement n. 广告
184. agency n. 代理商，经销商
185. focus v. (使)聚集 n. 焦点，中心，聚焦
186. forbid vt. 不许，禁止
187. debate n. /v. 辩论，争论
188. debt n. 欠债
189. decade n. 十年
190. enclose vt. 围住；把. . . 装入信封
191. encounter vt. /n. 遭遇，遭到
192. globe n. 地球，世界；地球仪
193. global a. 全球的；总的
194. scan vt. 细看；扫描；浏览
195. scandal n. 丑事，丑闻
196. significance n. 意义；重要性
197. subsequent a. 随后的，后来的
198. virtue n. 美德，优点
199. virtual a. 实际上的，事实上的
200. orient vt. 使适应
201.portion n.一部分
202.target n.目标，靶子vt.瞄准
203.portable a.手提式的
204.decline v.拒绝，谢绝；下降
205.illusion n.错觉
206.likelihood n.可能，可能性
207.stripe n.条纹
208.emphasizev t.强调，着重
209.emotion n.情感，感情
210.emotional a.感情的，情绪（上）的
211.awful a.极坏的，威严的，可怕的
212.awkward a.笨拙的，棘手的
213.clue n.线索，提示
214.collision n.碰撞，冲突
215.device n.装置，设备
216.devisev t.发明，策划，想出
217.inevitable a.不可避免的
218.naval a.海军的
219.navigation n.航行
220.necessity n.必需品；必要性
221.previous a.先，前，以前的
222.provision n.[pl.]给养，口粮；准备，设备，装置
223.pursue vt.追逐；追求；从事，进行
224.stale a.不新鲜的，陈腐的
225.substitute n.代用品vt.代替
226.deserve vt.应受，应得，值得
227.discrimination n.歧视；辨别力
228.professional a.职业的，专门的
229.secure a.安全的，可靠的
230.security n.安全，保障
231.scratch v./n.抓，搔，扒
232.talent n.才能，天资；人才
233.insurance n.保险，保险费
234.insure vt.给...保险，保证，确保
235.nevertheless ad.仍然，然而，不过
236.neutral a.中立的，中性的
237.spot n.地点；斑点vt.认出，发现；玷污
238.spray v.喷，（使）溅散
239.medium a.中等的，适中的n.媒介物，新闻媒介
240.media n.新闻传媒
241.auxiliary a.辅助的，备用的
242.automatic a.自动的
243.compete vi.竞争，比赛
244.competent a.有能力的，能胜任的
245.competition n.竞争，比赛
246.distribute vt.分发
247.disturb vt.打搅，妨碍
248.infer v.推论，推断
249.integrate v.(into,with)（使）成为一体，（使）合并
250.moist a.潮湿
251.moisture n.潮湿
252.promote vt.促进；提升
253.region n.地区；范围；幅度
254.register v./n.登记，注册
255.stable a.稳定的
256.sophisticated a.老于世故的，老练的；很复杂的
257.splendid a.极好的，壮丽的，辉煌的
258.cancel vt.取消，废除
259.variable a.易变的，可变的
260.prospect n.前景，前途；景象
261.prosperity n.兴旺，繁荣
262.aspect n.方面；朝向；面貌
263.cope vi.(with)（成功地）应付，处理
264.core n.果心，核心
265.maintain vt.维持，保持；坚持，主张
266.mainland n.大陆
267.discipline n.纪律；惩罚；学科
268.domestic a.本国的，国内的；家用的；家庭的
269.constant a.不变的，恒定的n.常数
270.cliff n.悬崖，峭壁
271.authority n.权威；当局
272.audio a.听觉
273.attitude n.态度
274.community n.社区，社会
275.commit vt.犯（错误，罪行等），干（坏事等）
276.comment n./vt.评论
277.distinguish vt.区分，辨别
278.distress n.痛苦，悲伤vt.使痛苦
279.facility n.[pl.]设备，设施；便利，方便
280.faculty n.能力，技能；系，学科，学院；全体教员
281.mixture n.混合，混合物
282.mood n.心情，情绪；语气
283.moral a.道德上的，有道德的
284.prominent a.突出的
285.substance n.物质；实质
286.substantial a.可观的；牢固的；实质的
287.prompt vt.促使a.敏捷的，及时的
288.vivid a.生动的
289.vocabulary n.词汇（量）；词汇表
290.venture n.风险投资，风险项目v.冒险；取于
291.version n.版本，译本；说法
292.waist n.腰，腰部
293.weld v./n.焊接
294.yawn vi.打哈欠
295.yield vi.(to)屈服于；让出，放弃n.产量
296.zone n.地区，区域
297.strategy n.战略，策略
298.strategic a.战略（上）的，关键的
299.tense a.紧张的v.拉紧n.时态
300.tension n.紧张（状态），张力
301.avenue n.林荫道，大街
302.available a.现成可用的；可得到的
303.comparable a.(with,to)可比较的，类似的
304.comparative a.比较的，相对的
305.dash vi.猛冲，飞奔
306.data n.数据，资料
307.dive vi.跳水，潜水
308.diverse a.不同的，多种多样的
309.entitle vt.给...权利，给...资格
310.regulate vt.管理，调节
311.release vt./n.释放，排放；解释解脱
312.exaggerate v.夸大，夸张
313.evil a.邪恶的，坏的
314.shrink vi.起皱，收缩；退缩
315.subtract v.减（去）
316.suburb n.市郊
317.subway n.地铁
318.survey n./vt.调查，勘测
319.wealthy a.富裕的
320.adjust v.调整，调节
321.attach vt.系，贴；使附属
322.profit n.利润，益处；v.有益于，有利于
323.profitable a.有利可图的
324.slope n.斜坡，斜面
325.reinforce vt.增强，加强
326.reject vt.拒绝
327.fatal a.致命的；重大的
328.fate n.命运
329.humble a.谦逊的；谦虚的
330.illegal a.不合法的，非法的
331.award vt.授予，判给n.奖品，奖金
332.aware a.意识到
333.column n.柱，圆柱；栏，专栏
334.comedy n.喜剧
335.dumb a.哑的；沉默的
336.dump vt.倾卸，倾倒
337.deaf a.聋的；不愿听的
338.decorate vt.装饰，装璜
339.principal a.最重要的n.负责人，校长
340.principle n.原则，原理
341.prior a.优先的，在前的
342.priority n.优先，重点
343.prohibit vt.禁止，不准
344.remarkable a.值得注意的，异常的，非凡的
345.remedy n./vt.补救，医治，治疗
346.repetition n.重复，反复
347.vain a.徒劳的，无效的
348.undertakev t.承担，着手做；同意，答应
349.unique a.唯一的，独特的
350.obstacle n.障碍（物），妨碍
351.odd a.奇特的，古怪的；奇数的
352.omit vt.省略
353.opponent n.敌手，对手
354.opportunity n.机会，时机
355.orchestra n.管弦乐队
356.semester n.学期；半年
357.semiconductor n.半导体
358.seminar n.研讨会
359.terminal a.末端的，极限的n.终点
360.territory n.领土
361.approximate a.大概的，大约v.近似
362.arbitrary a.随意的，未断的
363.architect n.建筑师
364.architecture n.建筑学
365.biology n.生物学
366.geography n.地理（学）
367.geology n.地质学
368.geometry n.几何（学）
369.arithmetic n.算术
370.algebra n.代数
371.entertainment n.娱乐；招待，款待
372.enthusiasm n.热情，热心
373.entry n.进入，入口处；参赛的人（或物）
374.environment n.环境
375.episode n.插曲，片段
376.equation n.方程（式）
377.restrain vt.阻止，抑制
378.restraint n.抑制，限制
379.resume v.（中断后）重新开始
380.severe a.严重的
381.sexual a.性的
382.simplicity n.简单；朴素
383.simplify vt.简化
384.sorrow n.悲哀，悲痛
385.stuff n.原料，材料vt.填进，塞满
386.temporary a.暂时的，临时的
387.temptation n.诱惑，引诱
388.terror n.恐怖
389.thrust v.挤，推，插
390.treaty n.条约，协定
391.arise vi.产生，出现，发生；起身
392.arouse vt.引起，激起；唤醒
393.burden n.重担，负荷
394.bureau n.局，办事处
395.marvelous a.奇迹般的，惊人的
396.massive a.大的，大量的，大块的
397.mature a.成熟的
398.maximum a.最高的，最大的
399.minimum a.最低的，最小的
400.nonsense n.胡说，冒失的行动
401.notion n.概念，观念
402. nucleus n. 核
403. retail n. /v. /ad. 零售
404. retain vt. 保留，保持
405. restrict vt. 限制，约束
406. sponsor n. 发起者，主办者 vt. 发起，主办，资助
407. spur n. /vt. 刺激，激励
408. triumph n. 胜利，成功
409. tuition n. 学费
410. twist vt. 使缠绕；转动；扭歪
411. undergraduate n. 大学肄业生
412. universal a. 普遍的，通用的；宇宙的
413. universe n. 宇宙
414. via prep. 经由，经过，通过
415. vibrate v. 振动，摇摆
416. virus n. 病毒
417. voluntary a. 自愿的
418. volunteer n. 志愿者 v. 自愿(做)
419. vote v. 选举 n. 选票
420. wagon n. 四轮马车，铁路货车
421. appoint vt. 任命，委派
422. approach v. 靠近，接近 n. 途径，方式
423. appropriate a. 适当的
424. bunch n. 群，伙；束，串
425. bundle n. 捆，包，束 vt. 收集，归拢
426. ceremony n. 典礼，仪式
427. chaos n. 混乱，紊乱
428. discount n. (价格)折扣
429. display n. /vt. 陈列，展览
430. equivalent a. 相等的 a. 相等物
431. erect a. 竖直的 v. 建造，竖立
432. fax n. /vt. 传真
433. fertile a. 肥沃的；多产的
434. fertilizer n. 肥料
435. grateful a. 感激的
436. gratitude n. 感激
437. horror n. 恐怖
438. horrible a. 可怕的
439. Internet n. 国际互联网，因特网
440. interpret v. 翻译，解释
441. interpretation n. 解释，说明
442. jungle n. 丛林，密林
443. knot n. 结 vt. 把. . . 打成结
444. leak v. 漏，渗出
445. lean vi. 倾斜，倚，靠
446. leap vi. 跳跃
447. modify vt. 修改
448. nylon n. 尼龙
449. onion n. 洋葱
450. powder n. 粉末451. applicable a. 可应用的，适当的
452. applicant n. 申请人
453. breadth n. 宽度
454. conservation n. 保存，保护
455. conservative a. 保守的
456. parallel n. 平行线；可相比拟的事物
457. passion n. 激情，热情
458. passive a. 被动的，消极的
459. pat v. /n. 轻拍，轻打
460. peak n. 山峰，顶点
461. phenomenon n. 现象
462. reluctant a. 不情愿的，勉强的
463. rely vi. (on ,upon)依赖，指望
464. relevant a. 有关的，切题的
465. reliable a. 可靠的
466. relief n. 轻松，宽慰；减轻
467. reputation n. 名气，声誉
468. rescue vt. /n. 营救
469. triangle n. 三角(形)
470. sequence n. 连续；顺序
471. shallow a. 浅的
472. shiver vi/n. 发抖
473. shrug v. /n. 耸肩
474. signature n. 签名
475. sincere a. 诚挚的，真诚的
476. utility n. 功用，效用
477. utilize vt. 利用
478. utter vt. 说出 a. 完全的，彻底的
479. variation n. 变化，变动
480. vehicle n. 交通工具，车辆
481. applause n. 鼓掌，掌声
482. appliance n. 器具，器械
483. consent n. 准许，同意 vi (to) 准许，同意
484. conquer vt. 征服
485. defect n. 缺点，缺陷
486. delicate a. 易碎的；娇弱的；精美的
487. evolve v. 演变
488. evolution n. 演变，进化
489. frown v. /n. 皱眉
490. frustrate vt. 使沮丧
491. guarantee vt. /n. 保证
492. guilty a. 内疚的；有罪的
493. jealous a. 妒忌的
494. jeans n. 牛仔裤
495. liquor n. 酒，烈性酒
496. liter/litre n. 升
497. modest a. 谦虚道
498. molecule n. 分子
499. orbit n. 轨道 v. (绕. . . )作轨道运行
500. participate v. (in) 参与，参加501. particle n. 微粒
502. particularly ad. 特别，尤其
503. respond vi. 回答，答复；反应
504. response n. 回答，答复；反应
505. sensible a. 明智的
506. sensitive a. 敏感到，灵敏的
507. tremble vi. 颤抖
508. tremendous a. 巨大的；精彩的
509. trend n. 趋向，倾向
510. trial n. 审讯；试验
511. apparent a. 显然的，明白的
512. appetite n. 胃口；欲望
513. deposit n. 存款，定金 v. 存放，储蓄
514. deputy n. 副职，代表
515. derive vt. 取得，得到；(from)起源于
516. descend v. 下来，下降
517. missile n. 导d
518. mission n. 使命；代表团
519. mist n. 薄雾
520. noticeable a. 显而易见到
521. notify vt. 通知，告知
522. notion n. 概念；意图，想法
523. resemble vt. 像，类似于
524. reveal vt. 揭露
525. revenue n. 收入，岁入；税收
526. shelter n. 掩蔽处；住所
527. shield n. 防护物，盾 vt. 保护，防护
528. vital a. 重要的；致命的，生命的
529. vitally ad. 极度，非常；致命地
530. urban a. 城市的
531. urge vt. 鼓励，激励
532. urgent a. 急迫的，紧急得
533. usage n. 使用，用法
534. violence n. 强力，暴力
535. violent a. 强暴的
536. violet a. 紫色的
537. weed n. 杂草，野草
538. welfare n. 福利
539. whatsoever ad. (用于否定句)任何
540. whereas conj. 然而，但是，尽管
541. essential a. 必不可少的；本质的
542. estimate n. /vt. 估计，估量
543. evaluate vt. 评估，评价
544. exceed vt. 超过，越出
545. exceedingly ad. 非常，极其
546. exclaim v. 呼喊，大声说
547. exclude vt. 把. . . 排斥在外，不包括
548. exclusive a. 读有的，排他的
549. excursion n. 远足
550. flash vi. 闪光，闪耀551. flee vi. 逃走
552. flexible a. 易弯曲的
553. flock n. 羊群，(鸟兽等)一群；一伙人
554. hardware n. 五金器具
555. harmony n. 和谐，融洽
556. haste n. 急速，急忙
557. hatred n. 憎恶，憎恨
558. incident n. 事件，事变
559. index n. 索引，标志
560. infant n. 婴儿
561. infect v. 传染
562. inferior a. 劣等的，次的，下级的
563. infinite a. 无限的
564. ingredient n. 组成部分
565. inhabitant n. 居民
566. jail n. 监狱
567. jam n. 果酱；拥挤，堵塞
568. jewel n. 宝石
569. joint a. 连接的；共同的
570. junior a. 年少的；资历较浅的
571. laser n. 激光
572. launch vt. 发动，发起
573. luxury n. 奢侈； 奢侈品
574. magnet n. 磁铁，磁体
575. male a. 男性的，雄的
576. female a. 女性的，雌的
577. manual a. 用手的，手工做的 n. 手册
578. manufacture vt. /n. 制造，加工
579. marine a. 海的；海产的
580. mutual a. 相互的
581. naked a. 裸露的
582. negative a. 否定的，消极的
583. neglect vt. 忽视，忽略
584. origin n. 起源，出身
585. oval a. 椭圆形的 n. 椭圆形
586. outset n. 开始，开端
587. presumably ad. 大概，可能
588. prevail vi. 流行，盛行
589. quit v. 停止
590. quotation n. 引文，引语
591. recreation n. 娱乐活动
592. recruit vt. 招募，吸收(新成员)
593. rival n. 竞争对手，敌手
594. shuttle n. 梭子； 航天飞机
595. skim vt. 搬(去)，掠过；浏览
596. sketch n. 草图；梗概
597. slender a. 苗条的，修长的
598. theme n. 主题
599. textile n. 纺织品
600. tropical a. 热情的，炎热的601. kneel vi. 跪
原文：B. Process Development Tool
Lithography modeling has also proven to be an invaluable tool for the development of new lithographic processes or equipment. Some of the more common uses include the optimization of dye
loadings in photoresist [23,24], simulation of substrate reflectivity [25,26], the applicability and optimization of top and bottom antireflection coatings [27,28], and simulation of the effect of bandwidth on swing curve amplitude [29,30]. In addition, simulation has been used to help understand the use of thick resists for thin film head manufacture [31] as well as other non-semiconductor applications. Modeling is used extensively by makers of photoresist to evaluate new formulations [32,33] and to determine adequate
measures of photoresist performance for quality control purposes [34]. Resist users often employ modeling as an aid for new resist evaluations. On the exposure tool side, modeling has become an indispensable part of the optimization of the numerical aperture and partial coherence of a stepper [35-37] and in the understanding of the print bias between dense and isolated lines [38]. The use of optical proximity correction software requires rules on how to perform the corrections, which are often generated with the help of lithography simulation [39].
As a development tool, lithography simulation excels due to its speed and cost-effectiveness. Process development usually involves running numerous experiments to determine optimum process conditions, shake out possible problems, determine sensitivity to variables, and write specification limits on
the inputs and outputs of the process. These activities tend to be both time consuming and costly. Modeling offers a way to supplement laboratory experiments with simulation experiments to speed up this process and
reduce costs. Considering that a single experimental run in a wafer fabrication facility can take from hours to days, the speed advantage of simulation is considerable. This allows a greater number of simulations than would be practical (or even possible) in the fab.
翻译：
B.工艺过程开发工具
Lithography塑造也被证明是为新的平版印刷的过程或设备的发展的一个无价的工具。 某些更加共同的用途包括染料的优化 在光致抗蚀剂[23,24的]基体反射性[25,26的] loadings，模仿，上面和底部抗反射膜[27,28的]带宽的作用的适用性和优化和模仿对摇摆曲线高度[29,30]。 另外，模仿被用于帮助了解使用浓厚为薄膜头制造[31]抵抗并且其他非半导体应用。 塑造由光致抗蚀剂制造商广泛地用于评估新的公式化[32,33]和确定充分 光致抗蚀剂表现measures质量管理的打算[34]。 抵抗用户经常使用塑造作为新的援助抵抗评估。 在曝光工具边，塑造成为了数值口径和部分相干性的优化的一个不可缺少的部分步进[35-37]和在对在密集和被隔绝的线[38之间的]印刷品偏心的理解。 使用光学接近度更正软件要求关于怎样的规则执行更正，在石版印刷模仿[39帮助下]经常引起。
As开发工具，石版印刷模仿擅长由于它的速度和成本效益。 工艺过程开发通常介入跑许多实验确定最宜的处理情况，震动可能的问题，确定敏感性到可变物和写规格限制
the过程的输入和输出。 这些活动倾向于是费时和昂贵的。 塑造提供一个方式用仿真实验补充实验室实验加速这个过程和
reduce费用。 考虑在薄酥饼制造设施的实验性奔跑可能从几小时采取到几天，模仿的速度好处是可观的。 这比实用(甚至可能的)允许模仿的一个更加了不起的数字在很好。
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