单晶硅的生产工艺流程

单晶硅的生产工艺:1.石材加工一开始是石头(所有石头都含硅)。这块石头被加热后变成了液态。加热后变成气态，气体通过一个密封的大盒子。盒子里有N多个加热的子晶体，两端用石墨夹住。当气体通过盒子时，子晶体会将其中一种气体吸收到子晶体中，子晶体逐渐变厚。因为有些变成固体了，所以很慢，大概一个月。2.酸洗当然还有大量的废气等等。(四氯化硅)在生产过程中产生。现在看来是处理不好了。事不宜迟，等原生多晶体有了，就开始酸洗，氢氟酸，硝酸，醋酸等等。原生多晶体外的东西洗干净后，会放入烘房烘干，无尘检验，包装。3.拉晶要拉晶，拉晶就是在拉晶炉里加热熔化多晶硅。将晶体向上提拉后，工人们首先将多晶硅放入应时坩埚中。(为了降低成本，工厂还会用一些洗过的电池片和碎硅片一起熔化。)关炉加热。应时锅的熔点是1700度，硅的熔点只有1410度左右。硅熔化后，应时坩埚慢慢上升，晶体从上面下降到坩埚的中心液面。同时锅底电加热，液面冷却，晶体指向液面会出现光点。慢慢旋转，拉起，放肩，转肩，正常拉杆，完成。大约一天半后，一根单晶棒就会出来。4.切割正方形当单晶棒可用时，切割正方形。单晶棒通常为6英寸，P型，电阻率为0.5-6欧姆(一英寸约等于2.4厘米)。把棒的四边切掉，做成带倒角的正方形，切片，每片0.22毫米。

要建设单晶硅生产线，除了硅晶体生长设备外，还一般要建起相关的配套设施：供配电系统、冷却水系统、惰性气体供应系统，真空系统以及生产环境所需的空调空气过滤系统，

常见的硅晶体生长炉有：上海汉红 浙江晶胜 北京经运通 华胜天龙 西安理工等

像自动化程度比较高的有 浙江晶胜 上海汉红 美国凯科斯等当然价格是很昂贵的，国产8寸的炉子价格在一百五十万以上 进口合资的更高一般两百万以上。单晶炉的设备型号主要以炉子的装料量和拉制晶棒的直径来定义：85 90等

国产半自动的炉子主要有：经运通 西安理工 晶仪 晶龙和天龙等，这些炉子只能在等径和收尾的时候自动运行人工干预的程度比上面提到的炉子要大，但价格便宜，结实来用所以也有很多厂家在用。

要拉出一根高品质的晶棒，除了运行可靠、控制平稳的炉子外更大程度是和所用原料、配料工艺以及保温热场有关，所以除了挑选合适的单晶炉外，我们还需要对原料的采购、配料工艺的制定、热场和石英坩埚的选择有严格要求。

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