半导体厂常见的事故有哪几大类

生产线事故，伤人事故生产线的事故原因有很多，比如突然断电，正在光刻的晶圆基本上就报废了，什么涂胶的，腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停，每分钟的损失都是剧额的，尤其是光刻机。为了曝光稳定，基本从买来到报废都不能关机和断电，中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒，什么硅烷，砷化氢，基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

激光雕刻机在应用中也没有多大的危险，只要按照正确的 *** 作流程就可以了， *** 作中需要注意几点：1. *** 作机器过程中身体不要遮挡光路。2.机器必须安全接地3.机器工作中不要打开后罩不要碰激光管的高压线。4：不要用手去触碰同步轮皮带防止夹伤。

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