GMP洁净实验室施工程序
一切都按GMP洁净实验室装修设计图纸指导施工,以规范标准管理号施工质量。我们在整个施工过程中既是抓先进的生产工艺,同时处理好每隔环节技术性的要求,这样整体施工时有着层次性。在现场施工中以GMP洁净实验室装修第一工序为基准点,第一工序为第二工序负责,同样第二工序又检查、监督第一工序,以此交替施工。
1、精密空调工程(净化主要是靠它)2、装修施工工艺(密封性、材料也都影响着净化)
3、洁净实验室的布局规划(喜格),同理,不合理不合规不达标的洁净实验室净化再好也无用。
半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
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