氖是芯片制程所需激光的关键材料,主要用于半导体光刻技术,特别是深紫外光刻技术(DUV)。在半导体曝光制程中,需要透过混合氖、氟、氩等特殊气体才能进行,且氖占比高达95%以上。
乌克兰占据全球高达70%的氖生产量,美国芯片等级的氖,90%源于乌克兰。同时,用于传感器、内存等产品的钯,全球有35%来自俄罗斯。俄乌冲突将导致氖、氩及氪等惰性气体的生产受到干扰,也可能导致氖出口中断,或推升晶圆价格,加剧芯片荒。
惰性气体:又称稀有气体包括:氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均为无色、无臭、气态的单原子分子。周期表中为第18族(ⅧA族),外层电子已达饱和,活性极小。
一般通性:原子量、密度、熔点、沸点、原子半径随原子序增加而增加.游离能随原子序增加而减少。
以下不是主要的
(用途: (1)He:可用作安全气球或飞船,与氧混合供潜水用,可防止潜水夫病。 *在油井中所产天然气含2%,为工业用的主要来源。 制备法:将天然气压缩及冷却而液化,He难液化而分离。 Ne:在真空放电管中发生红色光,用於广告灯。 Ar:填充灯泡保护钨丝。Kr,Xe:用在照相工业。Kr,Xe在真空放电管中,发出蓝色光。Rn:为放射性气体,自然界中几乎不存在。
4.钝气化合物 1962年加拿大巴勒特发现了第一种钝气化合物—Xe之氟化物,接著有数百种Kr、Xe的化合物相继合成成功(如XeF2、KrF2),而传统的”惰性气体不能形成化合物”的观念需加以修正,惰性气体只是不活泼而已)
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