杂质、缺陷对半导体的影响 ?

杂质、缺陷对半导体的影响 ?,第1张

杂质在半导体产业是个优势又是麻烦,例如:晶圆原厂的晶圆制程拉晶柱时不能有任何杂质,否则就是缺陷。

而在芯片加工流程打入杂质形成pn结又非有杂质不可,否则也是缺陷。

凡是缺陷就不可能成功。

影响极大,减短寿命。少子寿命是半导体材料和器件的重要参数,即少数载流子寿命。光生电子和空穴从一开始在半导体中产生直到消失的时间称为寿命。杂质和缺陷对少子寿命影响极大,减短寿命,杂质、缺陷愈多非平衡载流子消失得愈快,在复合过程中少数载流子起主导和决定的作用。会产生杂质能级,成为少子的复合中心,从而寿命降低。


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