1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

在实验室装修时应该注意一些细节问题：

一、供水和排水要求：供水要保证必须的水压、水质和水量以满足仪器设备正常运行的需要。室内总阀门应设在易 *** 作的显著位置。下水道应采用耐酸碱腐蚀的材料，地面应有地漏。

二、供气与供电：有条件的化验室可安装管道煤气。化验室的电源分照明用电和设备用电。照明最好采用荧光灯。设备用电中，24h运行的电器如冰箱单独供电，其余电器设备均由总开关控制，烘箱、高温炉等电热设备应有专用插座、开关及熔断器。在室内及走廊上安置应急灯，备夜间突然停电时使用。

三、通风设施：由于化验工作中常常产生有毒或易燃的气体，因此化验室要有良好的通风条件，通风设施一般有3种：

(1)局部排气罩：一般安装在大型仪器发生有害气体部位的上方。在教学实验室中产生有害气体的上方，设置局部排气罩以减少室内空气的污染。

(2)通风柜：这是实验室设计常用的一种局部排风设备。可采用防火防爆的金属材料制作通风柜，内涂防腐涂料，通风管道要能耐酸碱气体腐蚀。风机可安装在顶层机房内，并应有减少震动和噪音的装置，排气管应高于屋顶2m以上。

(3)全室通风：采用排气扇或通风竖井，换气次数一般为5次/时。

四、建筑要求：化验室的建筑应耐火或用不易燃烧的材料建成，隔断和顶棚也要考虑到防火性能。窗户要能防尘，室内采光要好。门应向外开，大的实验室应设两个出口，以利于发生意外时人员的撤离。

五、实验台：主要由台面、台下的支架和临时储藏柜组成，为方便 *** 作，台上可设置药品架，台的两端可安装水槽。台面常用耐蚀贴面理化板、耐蚀实芯理化板、环氧树脂板或高温陶瓷板等制成。理想的台面应平整、不易碎裂、耐酸碱及溶剂腐蚀，耐热，不易碰碎玻璃器皿等。

实验室装修涵盖很多工程，包括实验室装饰工程、实验室通风工程、实验室电气工程、实验室给排水工程等等，那么常规实验室装修建设需要注意哪些问题呢，且听华测实验室为您解析。

一、装修工程中所有实验室都应考虑换气装置，保证实验室内空气处于安全范围

二、装修工程中的地板建议采用地板砖/PVC卷材地胶，防腐，耐用

三、吊顶建议采用防潮，防尘为主的吊顶材料

四、水电工程建议均采用隐蔽工程，每个进水端都应配备水阀，以防终端水阀失 灵漏水造成的麻烦

五、灯具方面建议吸顶式有保护罩的LED灯管，方便维护，清洁、节能

六、通风柜比较多的房间可适当采用空调补风

七、实验室排风为强排风，一定要优先安装后再进行空调等相应的布管，减少施工后期强排风的噪音及震动

八、实验室区域主配电一定要根据大功率仪器总和加预留

九、实验室区域各功能房间内的电及水都要优先考虑实验室家具厂家的预留水电位置施工

十、总体装修方案定要根据实验人员最终确定的功能布局方案基础上进行装修方案设计并施工，减少设备与整体装修的冲突

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