以下是集中常见真空设备的极限真空(极限真空:不带系统,设备本身能够达到的最高真空)
水环真空泵大约3-5KPa
旋片真空泵和滑阀真空泵大约2Pa
往复式真空泵大约3-4KPa
罗茨机组0.5-200Pa(罗茨泵级数不同,真空极限不同)
扩散泵能达到10-4Pa。
如果上面没有,你再问我吧。
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
以下是集中常见真空设备的极限真空(极限真空:不带系统,设备本身能够达到的最高真空)
水环真空泵大约3-5KPa
旋片真空泵和滑阀真空泵大约2Pa
往复式真空泵大约3-4KPa
罗茨机组0.5-200Pa(罗茨泵级数不同,真空极限不同)
扩散泵能达到10-4Pa。
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