华为在5G取得绝对领先地位后,美国开始经常制造麻烦,在此过程中,华为首当其冲,成为美国打击的焦点。特别是2020年,美国对华为在芯片方面展开全方位封锁。此外,我国在半导体领域起步晚,再加上处处面临技术垄断,华为陷入了前所未有的芯片危机。这不是华为一家的危机,而是整个中国科技市场的危机。因此,2020年,我国所有半导体企业全力突破半导体技术,突破美国壁垒,努力尽快实现自主性。
光刻机是芯片制造生产中最重要的设备,也是目前世界先进工艺的代表。我国在半导体领域的不足,其实很大程度上是因为光刻技术的落后。对此,中科院特别成立了科研小组,专门突破。当然,在此之前,我国也尽力从ASML成功购买光刻机。最终,在当今社会,ASML光刻机的生产技术引人注目。但是,由于美国的阻挠,我国未能将这一目标变为现实。在此之前,ASML宣布将扩大对中国市场的部署,但到目前为止,我国也没有成功地从ASML总部购买最先进的光刻机器。在其他渠道,我国仍然有许多企业获得了ASML的光刻机。一家名叫信阳的公司,来自上海,花费1亿元成功购买了三台ASML光刻机。
据悉,上海申阳此次购买的光刻机均为ASML-1400型号。该模型实际上不是ASML目前最先进流程的代表,只能用于生产55纳米芯片。而且这三个光刻机也是二手的。另外3台ASML光刻机!目的不是为了生产芯片。上海申阳计划不是为了芯片的生产开发,而是应用于芯片生产的核心材料——照片光刻的开发和测试。这与之前决定书半导体公司从SK海力士购买ASML二手光刻机器的用途相同。尽管如此,上海申阳到目前为止只完成了一台光刻机的安装和测试工作。今年1月5日,上海申阳正式宣布,其余两台光刻机将于3月完成相应的安装部署。至此,三台ASML光刻机均已就位,将有助于光刻机的研发工作。
光刻作为芯片开发中最重要的材料,将直接影响生产的芯片质量。相关调查显示,目前的光刻技术已经达到KrF和ArF光刻水平,占全球光刻的64%。特别是对于一些高科技产品,KrF和ArF两种照片寄存器都适用。这两个光刻市场都掌握在美日两国,特别是日本企业手中。我国在光刻水平上停留在PCB低端光刻阶段。当然,低端光刻市场在我国占94.4%,但在KrF和ArF等高端光刻中,市长/市场份额仅为1.6%。因此,ArF光刻胶已经成为国家02专业领域的重点攻略项目。
其中,去年12月,南大光电在ArF取得突破性进展,成功通过了客户使用认证阶段。据悉,该光刻将用于最高7纳米芯片生产,这毋庸置疑,我国在芯片生产技术的突破上再次取得重大进展。同月,上海申阳也在ArF干法光刻及KrF厚膜光刻研究中取得成功,2022年将成功实现KrF厚膜光刻的量产,一年后将顺利实现ArF干法光刻的量产。这种自然和成功购买的三个ASML光刻机器的使用是不可分割的。
光刻胶生产技术的成功突破将使美国在芯片生产上对我国产生更少的壁垒,我国也将在此基础上进一步加快芯片研发进程。当然,有些人可能会说,我们国家芯片生产研发取得了这样的成果,但还需要使用外国吗?事实是事实,但我们需要明确的一点是,芯片的生产、研究和开发不是一蹴而就的,而是目前科学技术的代表性产品之一,强调循序渐进。约翰肯尼迪,Northern Exposure(美国电视),我们可以加快速度,但这并不意味着我们必须跳过其中的一个阶段,跳跃。只有脚踏实地,才能实现真正的突破。世界未来的芯片市场也必将因中国的成功加入而发生翻天覆地的变化。
荷兰。
阿斯麦(ASML Holding N.V.)是在荷兰费尔德霍芬的半导体设备制造商。公司同时在欧洲和美国NASDAQ上市。有从业员工28,000多名。
阿斯麦公司的主要产品是用于生产大规模集成电路的核心设备光刻机。在世界同类产品中有90%的市占率,在14纳米制程以下有100%的市占率。
总部位于荷兰埃因霍芬(Eindhoven),欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。
ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工,其中固定员工7184,男女比例为9:1。
据Bloomberg数据,2018年全球五大半导体设备制造商分别为应用材料(AMAT)、阿斯麦(ASML)、东京威力科创(TEL)、科林研发(Lam Research)、科磊(KLA)。
现在市场上提供量产商用的光刻机厂商依照排名,首位阿斯麦、第二名尼康(Nikon)、以及佳能(Canon)共三家,根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,阿斯麦公司约有60%的市场占有率。
而最高端市场(immersion),阿斯麦公司目前约有90%的市场占有率,在14纳米节点以下更获取100%市占率,同业竞争对手已无力追赶。
TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔、三星、海力士、台积电、联电、格罗方德及其它台湾十二英寸半导体厂。
除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,阿斯麦公司还在积极与IBM等半导体公司合作,继续研发光刻技术,用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。
历史发展
2008年,阿斯麦公司已超过日商东京威力科创成为世界第二大半导体设备商。
2010年,以销售额计算阿斯麦公司高端光刻机市占率已达到将近90%。
2011年,阿斯麦公司已超过美商应用材料公司(Applied Materials, Inc)成为世界第一大半导体设备商。
2012年7月10日英特尔斥资41亿美元收购荷兰芯片设备制造商阿斯麦公司的15%股权,另出资10亿美元,支持阿斯麦公司加快开发成本高昂的芯片制造科技。
2012年10月17日ASML Holding NV(ASML)与Cymer (CYMI)宣布签订合并协议,阿斯麦公司将以19.5亿欧元收购Cymer所有在外流通股票,收购Cymer目的在于加速开发Extreme Ultraviolet半导体蚀微影技术。
荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography,目前该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。
这是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂积体电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。
基本介绍中文名 :ASML 外文名 : Advanced Semiconductor Material Lithography 注册标识 :ASML Holding N.V 中文名称 :阿斯麦、艾司摩尔 公司简介,产品服务,技术前景,市场份额,在中国,相关事件,收购睿初科技,收购Cymer, 公司简介 总部位于荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven),欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器,全球净销售收入56.51亿欧元,净利润14.67亿欧元。 ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工,其中固定员工7184(欧洲4202,亚洲1538, 美国1444),男女比例为9:1。截止2011年,全球市场占有率75%。 中国分公司地址:上海市张江高科技园区松涛路560号A栋17楼。 ASML总部,荷兰Veldhoven 产品服务 ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,套用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。 ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产;AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF雷射光源,XT系列是成熟的机型,分为乾式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。 目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的积体电路。 TWINSCAN系列 ASML正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高积体电路质量。 技术前景 除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC, IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的积体电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米快闪记忆体,基于的便是双重曝光技术。 市场份额 目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。 在中国 ASML一直致力于中国市场的拓展与合作,包括香港在内目前已经在北京,上海,深圳,无锡等地开设分公司,为客户提供及时的服务和咨询。随着公司业务的扩大和中国半导体产业的发展,相信大连,成都,重庆,武汉等新兴的半导体基地也会纳入ASML的版图之内。ASML有信心和中国半导体从业者一道,为技术创新和市场拓展开辟道路。目前ASML已经与浙江大学,大连理工大学,哈尔滨工业大学,上海交通大学等著名高等学府签定奖学金及科研合作协定,为培养本地人才,做出自己的一份贡献。 相关事件 收购睿初科技 brion ASML于07年正式完成对美国睿初(Brion)科技的收购,使之成为旗下重要一员。睿初科技是建立在美国矽谷的高科技公司,致力于计算光刻等方面的服务,用于检测光刻缺陷及提出相应修正解决方案,在同行业中处于领跑位置。 睿初科技总部位于美国加州Santa Clara。 收购Cymer ASML于2012年10月宣布收购美国Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子雷射源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:频宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体晶片时起著决定性的作用。
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