三星公布最新半导体工艺路线图:2020年推进4nm!?

三星公布最新半导体工艺路线图:2020年推进4nm!?,第1张

三星在今天凌晨举办了新闻发布会,公布了旗下最新的工艺制程路线图,在新的路线图中,三星希望能够在2020年推进4nm工艺制程,显得野心勃勃。

三星公布最新半导体工艺路线图:2020年推进4nm!

“我们的路线图充满希望和野心,因为三星不单单只是计划这些新的工艺制程,而是在这些时间点上真的能够实现预定的计划”三星市场高级总监Kelvin Low如此说道。

三星公布最新半导体工艺路线图:2020年推进4nm!

根据三星的计划,在未来三年内也就是2017年至2020年,三星半导体的工艺制程将一步一个脚步的前进。比如今年试产8nm工艺,2018年量产7nm工艺,2019年则成功研发6nm以及5nm工艺,至于2020年,三星希望直接将工艺制程推进至4nm。

目前三星还称自己的晶圆厂所使用的光刻机已经可以达到每天1000片晶圆的产量,而未来三星希望将产量提升50%至1500片。同时三星还宣布将会在2018年引进最先进的EUV光刻机加入到晶圆的制造中来。

三星半导体的八大工艺包括:1、热处理;2、光刻;3、金属化学气相沉积(MOCVD);4、电镀/电子束蒸镀(EBL) ;5、表面处理/封装 ;6、测试/可靠性测试 ;7 、切割/打样 ;8 、回收。


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