划片机:
1、 型号:DISCO DFD6240SM
2、 产地:日本
3、 市场价格:260-370万元
4、 参数:
主轴配置:2.5KW
主轴转数:60000/min
最大切割尺寸:φ12"
X轴进刀速度:1200mm/S
Z轴有效行程:38.4
Z轴重复精度:0.00002mm
θ轴最大旋转角度:380度
5、 设备特点:
高机能自动校准
主轴中心给水
高刚性低振动主轴
12”大型工作盘
轴光/环光
双倍率显微镜头
非接触式测高
安全防护机制
刀具破损检知
切割机和划片机是半导体芯片制造过程中的同一种设备,只是名称不同,没有什么区别。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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