半导体车间里为什么会有甲烷气体？

甲烷是无色无味的气体，家用天然气（主要成份是甲烷）因混有臭味剂四氢噻吩而有味道。

而半导体车间（特别是新材料）一般是混有氯化氢、氨气等气体，而具有刺激性气味。

氩气：工作气体，该气体在工业生产中离子清洗时和镀膜时都用到，主要作用是轰击靶材。（辉光，蓝色）

氧气：反应气体，该气体一般用于反应溅射镀膜中，像镀ITO/SIO2等，还有做其他颜色膜层时都会用到的，主要作用是与溅射出来的靶微粒反应，生产氧化物。（辉光，红紫色）

顺便给你说一下另外的

氮气：反应气体，一般做颜色膜层时用到，或者破真空时用到。（辉光，黄色）

氦气：检漏用。

光是由于电子跃迁产生的，物质一定，在一定的范围内颜色不变。

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